為超純氣體系統(tǒng)過濾提供卓越的微粒過濾，是高溫和動(dòng)態(tài)壓力應(yīng)用的理想選擇。
最先進(jìn)的外殼組件通過最小化焊接區(qū)域來消除除氣
全金屬結(jié)構(gòu)是高溫和動(dòng)態(tài)壓力應(yīng)用的理想選擇
緊湊的尺寸和靈活的配件選擇提供了最高的設(shè)計(jì)效率并最大限度地降低了工程成本
應(yīng)用
Wafergard
III NF Micro XL 在線氣體過濾器應(yīng)用
超純氣體管線
高溫應(yīng)用
新工廠建設(shè)
動(dòng)壓應(yīng)用
惰性和活性氣體
產(chǎn)品規(guī)格
材料 濾芯 燒結(jié)鎳膜過濾器
住房 電拋光 VAR316L 不銹鋼外殼
下游清潔度 粒子 <0.03 顆粒/升（<1 顆粒/ft 3） >0.01 μm
揮發(fā)物 Volatile outgassing of H2O, O2, and THC is below detectable limits (by RGA and FID at room temperature)
Removal rating ≥0.0015 μm
Surface finsh interior ≤5 μin Ra
Helium leak rating Qualified 2 × 10-10 atm-cc
c.
Tested 1 × 10-9 atm-cc
c.
Maximum operating conditions: Maximum inlet pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68ºF)
Design pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68ºF)
Maximum forward/reverse differential pressure 1 MPa (10 bar, 150 psid)
Maximum operating temperature Inert gases 400°C (725°F) @ 35 bar (500 psi)
Corrosive and reactive gases 50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
Warranty 5 year
Particle retention Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles at 15 slpm
Flow rating Refer to performance data
零件號(hào)
Wafergard
III NF Micro XL 在線氣體過濾器部件號(hào)
零件號(hào) 接頭尺寸和類型 長度
WG3NS8RR2 1/4" 墊圈密封件（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8RR2P 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口，接頭用塑料蓋代替金屬蓋保護(hù) 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8SL2 1/4" 密封墊圈（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口，短型 50.8 毫米（2.00"）