Fluorogard?AT?過濾器
在大于?65?nm?的技術節(jié)點中清潔、經(jīng)濟高效地過濾非脫氣、水性、酸和堿化學物質(zhì)或高級溶劑應用。
應用
Fluorogard?AT?過濾器應用
行業(yè)：半導體（濕法蝕刻和清潔、散裝化學品輸送）、生命科學（提純）、平板顯示器（有機層印刷）
化學：腐蝕性酸、腐蝕性堿、溶劑
安裝方式：工具點，散裝
產(chǎn)品規(guī)格
? ? 在 ATX 吃 AT3
材料： 膜： 疏水聚四氟乙烯 ? ? ?
? 支架、套筒、端蓋、芯 粉煤灰 ? ? ?
? 濾芯?O?形圈選項 E-FKM、E-ETP、Chemraz、Kazlrez、FER ? ? ?
保留率（見注?1）： ? 0.05、0.1、0.2、0.5、1.0、5.0、10.0?μm（見注釋?2） 15、20?nm、0.03、0.05、0.1?μm
UCM?選項：15、20?nm（見注釋?2）? 15、20?nm、0.03、0.05、0.1?μm
UCM?選項：15、20?nm（見注釋?2） UCM?選項：15?納米
膜面積： 4" 0.36?平方米（3.88?平方英尺） 0.5?平方米（5.38?平方英尺） 2.2?平方米（23.86?平方英尺） ?
? 10" 0.9?平方米（9.68?平方英尺） 1.3?平方米（13.99?平方英尺） （15?納米/20?納米）2.1?平方米（22.6?平方英尺） 2.8?平方米（30.14?平方英尺）
? 20" 1.8?平方米（19.38?平方英尺） 2.6?平方米（27.99?平方英尺） 4.4?平方米（47.36?平方英尺） ?
? 30" 2.7?平方米（29.06?平方英尺） ? ? ?
顆粒清潔度 ? 以?3-5?L/min?沖洗?5?分鐘后，≤?50?個顆粒/10?mL（≥?0.05?μm/10?mL） ? ? ?
金屬萃取物： 墨盒 標準品?<40?μg?每臺設備 ? ? ?
? UCM?<10?μg?每臺設備 ? ? ?
? 一次性的 標準品?<10?μg?每臺設備 ? ? ?
? UCM?<3?μg?每臺設備 ? ? ?
? ? 墨盒 一次性的 一次性（管型）
運行條件 最大工作壓力 0.58?兆帕（5.8?巴，84?磅/平方英寸）@?25°C?(77°F) 0.58?兆帕（5.8?巴，84?磅/平方英寸）@?25°C?(77°F) 0.58?兆帕（5.8?巴，84?磅/平方英寸）@?25°C?(77°F)
? 最大正向壓差 0.44?兆帕（4.4?巴，64?磅/平方英寸）@?25°C?(77°F) 0.44?兆帕（4.4?巴，64?磅/平方英寸）@?25°C?(77°F) 0.44?兆帕（4.4?巴，64?磅/平方英寸）@?25°C?(77°F)
? ? 0.05?MPa（0.5?巴，7.5?psi?@?180°C?(356°F) 0.05?MPa（0.5?巴，7.5?psi?@?180°C?(356°F) 0.05?MPa（0.5?巴，7.5?psi?@?150°C?(302°F)
? 最大反向壓差 0.34?MPa?(3.45?bar,?50?psi?@?25°C?(77°F) 0.34?MPa?(3.45?bar,?50?psi?@?25°C?(77°F) 0.34?MPa?(3.45?bar,?50?psi?@?25°C?(77°F)
? 最高工作溫度 180°C?(356°F) 180°C?(356°F) 150°C?(302°F)
? ? ? Flowell?60?系列一次性 100°C?(212°F)
注?1：0.03?μm、15?nm?和?20?nm?的保留等級作為?UCM?產(chǎn)品用于溶劑過濾?-?無預濕選項。
注?2：預濕選項在?0.05?μm?和?1?μm?之間可用。請聯(lián)系您當?shù)氐?Entegris?代表了解您的特定產(chǎn)品要求。
零件號
Fluorogard?AT?過濾器部件號
隱藏零件號?
CTDGATETFPW
CTDGATSST
CTDGATSSTFPW
CTDGATSTT
CTDGATXLH
CTDGATXSTFPW
CTDGATXT3
CTDGATXT3PW
CTDGATXTH
CTDGATXTHPW
CTDGATXTT
CTDGATXTWPW
CTDHATXLH
CTDHATXSTFPW
CTDHATXT3
CTDHATXTH
CTDHATXTHPW
CTDHATXTP
CTDHATTXTPPW
CTDHATXTT
CTDVATE3SPW
CTDVATE4SPW
CTDVATSST
CTDVATSSTFPW
CTDVATSSTP
CTDVATSTH
CTDVATXLH
CTDVATXST
CTDVATXSTFPW
CTDVATXT3
CTDVATXTF
CTDVATXTH
CTDVATXTHPW
CTDVATXTW
CTDZATE3S
CTDZATE3SPW
CTDZATE4SPW
CTDZATETHPW
CTDZATX3S
CTDZATXLH
CTDZATXST
CTDZATXSTF
CTDZATXT3
CTDZATXTH
CTDZATXTPPW
CTDZATXTT
CTDZATXTW
CTFA01P01
CTFA01TPE
CTFA01TPEK
CTFA0SPSFWPW
CTFB01TPE
CTFB01TPEK
CTFB01TPEKPW
CTFB01TPEPW
CTFB02P01
CTFB02TPE
CTFC01P01
CTFC01P01PW
CTFC01TPE
CTFC01TPEK
CTFC01TPEPW
CTFC02TPE
CTFC03TPE
CTFC03TPEPW
CTFG01P01
CTFG01P01K
CTFG01P01KPW
CTFG01P01PW
CTFG01PTF
CTFG01TB1
CTFG01TC1
CTFG01TH1
CTFG01TK1
CTFG01TK1KPW
CTFG01TK1PW
CTFG01TP1
CTFG01TPE
CTFG01TPEK
CTFG01TPEKPW
CTFG01TPEPW
CTFG02P01
CTFG02P01PW
CTFG02TK1
CTFG02TPE
CTFG02TPEK
CTFG02TPEKPW
CTFG02TPEPW
CTFG03TB1
CTFG03TPEZ
CTFG0SP01
CTFG0SPSF
CTFG0SPSFW
CTFG0SPSFWPW
CTFG0SPTF
CTFG0SPTF6PW
CTFG0STPE
CTFG0STPEPW
CTFH01P01
CTFH01P01K
CTFH01P01KPW
CTFH01P01PW
CTFH01PSF
CTFH01TB1
CTFH01TPE
CTFH01TPEK
CTFH01TPEKPW
CTFH01TPEPW
CTFH02P01
CTFH02P01KPW
CTFH02TPE
CTFH02TPEK
CTFH02TPEPW
CTFH03TPE
CTFV01E01
CTFV01E01K
CTFV01E01KPW
CTFV01E01PW
CTFV01EB1
CTFV01EB1KPW
CTFV01EK1
CTFV01P01
CTFV01P01K
CTFV01P01KPW
CTFV01P01PW
CTFV01PC1
CTFV01PK1
CTFV01PK1K
CTFV01PK1KPW
CTFV01PK1PW
CTFV01PSF
CTFV01PTF
CTFV01TC1
CTFV01TK1
CTFV01TK1PW
CTFV01TPE
CTFV01TPEK
CTFV01TPEKPW
CTFV01TPEPW
CTFV02E01
CTFV02E01K
CTFV02E01PW
CTFV02EK1K
CTFV02P01
CTFV02P01K
CTFV02P01KPW
CTFV02TPE
CTFV02TPEK
CTFV02TPEKPW
CTFV02TPEPW
CTFV03E01
CTFV03TPE
CTFV0SP01
CTFV0SP01KPW
CTFV0SP01PW
CTFV0SPK1
CTFV0SPSF
CTFV0SPTF
CTFV0STPE
CTFW01E01
CTFW01E01K
CTFW02E01
CTFWU1301
CTFWU1E01
CTFWU1E01K
CTFWU1EB1
CTFX01EB1
CTFX02EB1
CTFXU1EB1
CTFXU1EB1Z
CTFXUSTB1
CTFY01E01
CTFY01E01K
CTFY01EB1
CTFY01P01
CTFY01TPE
CTFY02E01
CTFY02E01K
CTFY02TPE
CTFZ01E01
CTFZ01E01K
CTFZ01E01KPW
CTFZ01E01PW
CT