Wafergard
?MAX?在線?PTFE?氣體過濾器
這些在線?PTFE?氣體過濾器與高純度氣體兼容，并在?超純氣體應(yīng)用?以及?一般氮氣和?CDA?應(yīng)用中提供卓越的顆粒過濾。
PTFE?濾芯在超純應(yīng)用中表現(xiàn)出色?
專為高流量和低增量壓力應(yīng)用而設(shè)計?
用于惰性和反應(yīng)性氣體，包括臭氧?
為快速啟動而預(yù)先調(diào)節(jié)（僅限銀色）?
應(yīng)用
Wafergard?MAX?在線?PTFE?氣體過濾器應(yīng)用
兼容所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體
與一般氮氣和?CDA?應(yīng)用兼容
產(chǎn)品規(guī)格
材料 濾芯 由模壓?PFA?結(jié)構(gòu)支撐的疏水?PTFE?膜
? 住房 電拋光低硫?316L?不銹鋼外殼
下游清潔度 粒子 小于?0.03?個顆粒/升?(<1?個顆粒/ft?3?)?大于?0.01?μm
? 揮發(fā)物（銀） <10?ppb?H?2?O?和?O?2。低于?LDL?THC（檢測下限為?5?ppb）
移除等級 ≥0.0015?微米
表面處理內(nèi)部 WGMX（青銅）MB?XXXX ≤20?μin?Ra
? WGMX（銀/青銅加）MS?XXX/XXX ≤7?μin?Ra
氦泄漏等級 合格的 2?x?10?-10?atm-cc/秒
? 經(jīng)過測試 1?x?10?-9?atm-cc/秒
運行條件
? 最大入口壓力
? Silver?和?Bronze?Plus?1?4"?和?1?2"?VCR?兼容接頭：7.0?MPa?(70?bar,?1015?psig)
? ? 青銅?1?4"?和?1?2"?VCR?兼容接頭：6.0?MPa?(60?bar,?870?psig)
? ? Bronze?和?Bronze?Plus?1?4"、3?8"?和?1?2"?Swagelok?兼容接頭：6.0?MPa?(60?bar,?870?psig)
? 最大正向壓差 7?巴?(102?psid)
? 最大反向壓差 2.5?巴?(36?psid)
? 最高工作溫度 120°C?(248°F)
流量等級 參考性能數(shù)據(jù)
保修單 青銅 1年
? 銀 3年
顆粒保留 大于?99.9999999%?(9?LRV)?去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
零件號
Wafergard?MAX?在線?PTFE?氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGMXMBPRF2 1/4"?公?VCR?入口，1/4"?母?VCR?出口 141.2?毫米（5.6?英寸）
WGMXMBRR2 1/4"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）
WGMXMBRR4 1/2"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）
WGMXMBSS2 1/4"?世偉洛克112.7?毫米（4.44?英寸）
WGMXMBSS3 3/8"?世偉洛克117.9?毫米?(4.64)
WGMXMBSS4 1/2"?世偉洛克118.7?毫米（4.67?英寸）
WGMXMPRR2 1/4"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）
WGMXMPRR4 1/2"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）
WGMXMPSS2 1/4"?世偉洛克112.7?毫米（4.44?英寸）
WGMXMPSS3 3/8"?世偉洛克117.9?毫米?(4.64)
WGMXMPSS4 1/2"?世偉洛克118.7?毫米（4.67?英寸）
WGMXMSBW2 1/4"?對焊管 133.4?毫米（5.25?英寸）
WGMXMSBW3 3/8"?對焊管 133.4?毫米（5.25?英寸）
WGMXMSBW4 1/2"?對焊管 133.4?毫米（5.25?英寸）
WGMXMSRR2 1/4"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）
WGMXMSRR4 1/2"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）
?
?
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
?
美國ENTEGRIS英特格過濾器，WGPMOGGT2現(xiàn)貨，可當天發(fā)貨
美國ENTEGRIS英特格過濾器，WGPMOGGT2現(xiàn)貨，可當天發(fā)貨
美國ENTEGRIS英特格過濾器，WGPMOGGT2現(xiàn)貨，可當天發(fā)貨
?
?
?Gasketgard?在線墊片過濾器
Gasketgard?在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可代替標準的?1/4"、3/8"?和?1/2"?VCR?墊圈。
保持器便于對齊
設(shè)計用于輕松插入標準氣體管線
非常適合高壓和高溫應(yīng)用
保護關(guān)鍵部件免受顆粒物損壞
在世界一流的?ISO?認證設(shè)施中制造
應(yīng)用
Gasketgard?在線墊片過濾器應(yīng)用
用于最高?400°C?(752°F)?的應(yīng)用
用于保護敏感氣體成分
適用于高壓和高溫應(yīng)用?
產(chǎn)品規(guī)格
材料： 焊接到?316L?不銹鋼墊片上的燒結(jié)?316L?不銹鋼過濾介質(zhì) ?
? 保持器?316?不銹鋼 ?
顆粒保留： 去除所有大于?0.3?μm?直徑的顆粒超過?95% ?
運行條件： 最大壓差 1?4”?P1:?5.1?MPa?(51?bar,?740?psid)
1?4”?P2:?10.4?MPa?(104?bar,?1508?psid)
1?2”?P1:?1.7?MPa?(17?bar,?247?psid)
1?2”?P2?:?2.9?兆帕?(29?巴,?421?psid)
? 最高工作溫度 400°C?(752°F)?[惰性氣體]
零件號
Gasketgard?在線墊片過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4"?型 25.00?毫米（0.98?英寸）
WGPM0GGT2 1/4"?型帶保持器 25.25?毫米（0.99?英寸）
WGPM0GGT4 1/2"?(3/8")?型帶保持器 29.50?毫米（1.16?英寸）
??
?
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGPMOGGT2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISXX67000WH過濾器
ENTEGRISWGGB01KAN氣體過濾器
ENTEGRISWGFG01KL0過濾器
EntegrisWGFGT1PR1過濾器
EntegrisWGFGMBRR4
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISYY260103P濾殼
ENTEGRISPN2H010E1濾芯
EntegrisWGMXMBRR4過濾器
EntegrisWGFG02PR1過濾器
EntegrisWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISDS12-2C-16F-3氣動閥
ENTEGRISWGPMOGGT2過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT4過濾器
EntegrisWGPM0GGT4過濾器
EntegrisWG2SS8RR2過濾器
EntegrisWG3NS6RR2過濾器
ENTEGRISCR8-2CT-12FF-3閥
ENTEGRISYY260103P濾殼
ENTEGRISPN2H010E1濾芯
ENTEGRISWGPMOGGT4過濾器
ENTEGRISXX67000WH過濾器
ENTEGRISWGGB01KAN過濾器
ENTEGRISWGFG01KL0過濾器
ENTEGRISWGMXMBRR4過濾器
ENTEGRISDS12-2C-16F-3偵測器
EntegrisWG2SS8RR2過濾器
EntegrisWG3NS6RR2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
ENTEGRISWG3NS2RR4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISYY260103N過濾器
EntegrisCR4-2C-6F-3氣動閥
ENTEGRISWGPMOGGT4過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGFG01DS0（一包十個）濾芯
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRIS?CTFV01P01KPW濾芯
ENTEGRISDS12-2C-16F-3 13085331氣動閥
ENTEGRISWG3NS2RR4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGMXMBRR4過濾器
EntegrisCWFV0S1S3濾芯
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGMXMBRR4過濾器
ENTEGRISDS12-2C-16F-3氣動閥
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISCN2501E6濾芯
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
EntegrisWGPM0GGG2過濾器
entegrisWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWG2SS8RR2過濾器
ENTEGRISCN2501E6濾芯
EntegrisSVTH01TQ1過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISCN2501E06濾芯
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFG50PR1過濾器
ENTEGRISWGFG01DSH過濾器
ENTEGRISPLMV-K12閥
ENTEGRISPLMV-K04閥
ENTEGRISPLMV-K16閥
ENTEGRISPLPV-K04閥
ENTEGRISPLPV-K08閥
ENTEGRISPLPV-K12閥
ENTEGRISPLPV-K16閥
ENTEGRISWG2F02RR2
ENTEGRISCR8-2CT-12FF-3氣動閥
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
EntegrisYY5032PS1過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMBRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
entegrisWGFGT1PR1過濾器
EntegrisYY5032PS1
EntegrisWGFG21KP0
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFG01DS0過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
EntegrisWGFG21KP0
EntegrisWG2SS8RR2過濾器
?
