為半導(dǎo)體加工和工業(yè)制造中的氣體檢測(cè)帶來(lái)新的可見(jiàn)性、可靠性和易用性。

產(chǎn)品概述：

Midas 氣體檢測(cè)器使用可靠的傳感器技術(shù)來(lái)檢測(cè)工廠中的許多關(guān)鍵有毒氣體、環(huán)境氣體和易燃?xì)怏w。該設(shè)備監(jiān)控點(diǎn)最遠(yuǎn)可達(dá) 100 英尺（30 米），同時(shí)使用專利技術(shù)調(diào)節(jié)流速并確保無(wú)誤氣體檢測(cè)。由于霍尼韋爾使用先進(jìn)的機(jī)器人技術(shù)，Midas 氣體探測(cè)器提供了無(wú)與倫比的質(zhì)量和可靠性：

• 提高可見(jiàn)性和易用性。Midas 氣體探測(cè)器配備明亮的 LED 燈和直觀的交互式界面，可針對(duì)氣體讀數(shù)或警報(bào)級(jí)別提供即時(shí)警報(bào)。該界面還包括用于配置、測(cè)試和校準(zhǔn)的受密碼保護(hù)的菜單。

• 簡(jiǎn)易安裝。Midas 氣體探測(cè)器尺寸緊湊，帶有易于操作的金屬底盤(pán)，安裝簡(jiǎn)單。這在空間非常寶貴的擁擠、復(fù)雜的過(guò)程環(huán)境中尤為重要。

• 無(wú)數(shù)的應(yīng)用程序。Midas 氣體檢測(cè)儀功能豐富且易于使用，適用于許多行業(yè)應(yīng)用，包括半導(dǎo)體加工、輕工業(yè)制造、大學(xué)實(shí)驗(yàn)室、航空航天、廢水等。

附加功能和優(yōu)點(diǎn)：

• 提供超過(guò) 35 種氣體，延長(zhǎng) 2 年保修*

• 帶有板載“電子校準(zhǔn)”證書(shū)的智能傳感器盒

• 3 個(gè)內(nèi)置繼電器 (C 型)，用于報(bào)警 1、2 和故障

• 以太網(wǎng)供電 (PoE) 通信

• 鍵盤(pán)界面和遠(yuǎn)程網(wǎng)絡(luò)瀏覽器界面

• 連接到任何 Midas 氣體探測(cè)器的可選 Midas Pyrolyzer 模塊

• 密碼保護(hù)的菜單級(jí)別以保持系統(tǒng)完整性

• 明亮的 LED 和直觀的圖標(biāo)驅(qū)動(dòng)，大型多色背光 LCD 顯示屏

• 工廠校準(zhǔn)的傳感器可減少頻繁進(jìn)行氣體測(cè)試的需要

• 帶故障和事件報(bào)告的隔離式 0-22 mA 模擬輸出

• Modbus/TCP 以太網(wǎng)可輕松連接到所有控制和報(bào)警系統(tǒng)端口，以實(shí)現(xiàn)控制連接和服務(wù)交互

• 堅(jiān)固的抽取泵系統(tǒng)（2 年使用壽命）采樣達(dá) 100 英尺

• CE 標(biāo)記完全抗射頻干擾

• Reflex? 傳感器健康檢查以提高安全性

• TempraSureTM 溫度補(bǔ)償技術(shù)視情況而定

• 事件記錄以查看傳感器歷史記錄

特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì)：

• 可無(wú)誤檢測(cè)超過(guò) 35 種氣體

• 提高可見(jiàn)性和易用性

• 簡(jiǎn)易安裝

快速規(guī)格：

• 流速：500 毫升/分鐘

• 傳輸時(shí)間：最多 2 到 30 秒

• Sample Line Tubing: 0.125 in ID x 0.25 in OD

美國(guó)Honeywell霍尼韋爾Midas氣體偵測(cè)器：

Ammonia NH3 0 - 100 ppm MIDAS-E-NH3

Arsine AsH3 0 - 0.2 ppm MIDAS-E-ASH

Boron Trichloride BCl3 0 - 8.0 ppm MIDAS-E-HCL

Boron Trifluoride BF3 0 - 8.0 ppm MIDAS-E-HFX

Boron Trifluoride (Low Level) BF3 0 - 0.2 ppm MIDAS-E-HFL

Bromine Br2 0 - 0.4 ppm MIDAS-E-BR2

Carbon Dioxide CO2 0 - 2.0 % vol MIDAS-E-CO2

Carbon Monoxide CO 0 - 100 ppm MIDAS-E-COX

Chlorine Cl2 0 - 2.0 ppm MIDAS-E-HAL

Chlorine Dioxide ClO2 0 - 0.4 ppm MIDAS-E-BR2

Chlorine Trifluoride ClF3 0 - 0.4 ppm MIDAS-E-SF4

Diborane B2H6 0 - 0.4 ppm MIDAS-E-HYD

Dichlorosilane H2SiCl2 0 - 8.0 ppm MIDAS-E-HCL

Difluoromethane CH2F2 0 - 120 ppm MIDAS-E-CFX

Disilane Si2H6 0 - 20 ppm MIDAS-E-SHX

Fluorine F2 0 - 4.0 ppm MIDAS-E-HAL

Germane GeH4 0 - 0.8 ppm MIDAS-E-HYD

Hexafluorobutadiene C4F6 0 - 40 ppm MIDAS-E-CFX

Hydrogen (% LEL)* H2 0 - 100% LEL MIDAS-E-LEL

Hydrogen (ppm) H2 0 - 1000 ppm MIDAS-E-H2X

Hydrogen Bromide HBr 0 - 8.0 ppm MIDAS-E-HCL

Hydrogen Chloride HCl 0 - 8.0 ppm MIDAS-E-HCL

Hydrogen Cyanide HCN 0 - 20 ppm MIDAS-E-HCN

Hydrogen Fluoride HF 0 - 12 ppm MIDAS-E-HFX

Hydrogen Fluoride (Low Level) HF 0 - 2.0 ppm MIDAS-E-HFL

Hydrogen Selenide H2Se 0 - 0.4 ppm MIDAS-E-HSE

Hydrogen Sulfide H2S 0 - 40 ppm MIDAS-E-H2S

Hydrogen Sulfide (High Level) H2S 0 - 100ppm MIDAS-E-HSH

Methane (% LEL)* CH4 0 - 100% LEL MIDAS-E-LEL

Methyl Fluoride CH3F 0 - 60 ppm MIDAS-E-CFX

Nitrogen Dioxide NO2 0 -12 ppm MIDAS-E-NO2

Nitrogen Oxide NO 0 - 100 ppm MIDAS-E-NOX

Nitrogen Trifluoride NF3 0 - 40 ppm MIDAS-E-HFX

Octofluorocyclopentene C5F8 0 - 40 ppm MIDAS-E-CFX

Oxygen Proficiency & Deficiency O2 0 - 25% vol MIDAS-E-O2X

Ozone O3 0 - 0.4 ppm MIDAS-E-O3X

Phosphine PH3 0 - 1.2 ppm MIDAS-E-PH3

Phosphorous Oxychloride POCl3 0 - 0.4 ppm MIDAS-E-POC

Silane SiH4 0 - 20 ppm MIDAS-E-SHX

Silane (low level) SiH4 0 - 2.0 ppm MIDAS-E-SHL

Sulfur Dioxide SO2 0 - 8.0 ppm MIDAS-E-SO2

Sulfur Hexafluoride SF6 0 - 8000 ppm MIDAS-E-CFX

Sulfur Tetrafluoride SF4 0 - 0.4 ppm MIDAS-E-SF4

Tetra Ethyl Ortho Silicate TEOS 0 - 40 ppm MIDAS-E-TEO

Tungsten Hexafluoride WF6 0 - 12 ppm MIDAS-E-HFX

Tungsten Hexafluoride (Low Level) WF6 0 - 2.0 ppm MIDAS-E-HFL

?

MIDAS-S-ASH? ? - Arsine (AsH3), Germane (GeH4)

?

MIDAS-S-B2H? ? - Diborane (B2H6)

?

MIDAS-S-BR2? ? ?- Bromine (Br2), Chlorine Dioxide (ClO2)

?

MIDAS-S-CO2? ? - Carbon Dioxide (CO2)

?

MIDAS-S-COX? ? - Carbon Monoxide (CO)

?

MIDAS-S-H2S? ? ?- Hydrogen Sulfide (H2S)

?

MIDAS-S-H2X? ? - Hydrogen (H2)

?

MIDAS-S-HAL? ? - Chlorine (Cl2), Fluorine (F2)

?

MIDAS-S-HCL? ? ?- Boron Trichloride (BCl3), Dichlorosilane (H2Cl2Si), Hydrogen Bromide (HBr), Hydrogen Chloride (HCl)

?

MIDAS-S-HCN? ? - Hydrogen Cyanide (HCN)

?

MIDAS-S-HFL? ? ?- Boron Trfluoride (BF3), Hydrogen Fluoride HF (low level), Tungsten Hexafluoride (WF6) (Low)

?

MIDAS-S-HFX? ? - Boron Trifluoride (BF3), Hydrogen Fluoride (HF), Nitrogen Trifluoride (NF3) Tungsten Hexafluoride (WF6)

?

MIDAS-S-LEL? ? ? - Hydrogen (H2), Methane (CH4)

?

MIDAS-S-NH3? ? - Ammonia (NH3)

?

MIDAS-S-NO2? ? - Nitrogen Dioxide (NO2)

?

MIDAS-S-NOX? ?- Nitric Oxide (NO)

?

MIDAS-S-O2X? ? - Oxygen (O2)

?

MIDAS-S-O3X? ? - Ozone (O3)

?

MIDAS-S-PH3? ? - Phosphine (PH3)

?

MIDAS-S-SHL? ? ?- Silane (SiH4) (Low Level)

?

MIDAS-S-SHX? ? - Silane (SiH4), Disilane (Si2H6)

?

MIDAS-S-SO2? ? - Sulfur Dioxide (SO2)

?

MIDAS-S-TEO? ? - TEOS

?

MIDAS-S-XCF? ? ?- Difluoromethane (CH2F2), Hexafluorobutadiene (C4F6), Octofluorocyclopentene (C5F8),

?

MIDAS-S-XHF? ? - Nitrogen Trifluoride (NF3), Methyl Fluoride (CH3F),

?

?

MIDAS-S/E-NH3

?

MIDAS-S/E-ASH

?

MIDAS-S/E-HCL

?

MIDAS-S/E-HFX

?

MIDAS-S/E-HFU

?

MIDAS-S/E-HFL

?

MIDAS-S/E-BR2

?

MIDAS-S/E-CO2

?

MIDAS-S/E-CO2

?

MIDAS-S/E-COX

?

MIDAS-S/E-HAL

?

MIDAS-S/E-BR2

?

MIDAS-S/E-B2H

?

MIDAS-S/E-HCL

?

MIDAS-S/E-HCH

?

MIDAS-S/E-XCF

?

MIDAS-S/E-SHX

?

MIDAS-S/E-LEL

?

MIDAS-S/E-HAL

?

MIDAS-S/E-XCF

?

MIDAS-S/E-CFH

?

MIDAS-S/E-LEL

?

MIDAS-S/E-H2X

?

MIDAS-S/E-HCL

?

MIDAS-S/E-HCH

?

MIDAS-S/E-HCN

?

MIDAS-S/E-HFX

?

MIDAS-S/E-HFL

?

MIDAS-S/E-H2S

?

MIDAS-S/E-HSH

?

MIDAS-S/E-XHF

?

MIDAS-S/E-NO2

?

MIDAS-S/E-NOX

?

MIDAS-I-N2O

?

MIDAS-S/E-O2X

?

MIDAS-S/E-O2S

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MIDAS-S/E-O3X

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MIDAS-S/E-O3H

?

MIDAS-S/E-PHX

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MIDAS-S/E-LEX

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MIDAS-S/E-LEL

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MIDAS-S/E-SHX

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MIDAS-S/E-SHL

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MIDAS-S/E-SO2

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MIDAS-S/E-TEO

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MIDAS-S/E-HFX

?

MIDAS-S/E-HFU

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MIDAS-S/E-HFL

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MIDAS-T-001

?

MIDAS-T-004

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MIDAS-T-004G

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MIDAS-T-006

?

MIDAS-T-006G

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MIDAS-K-NH3

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MIDAS-K-ASH

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MIDAS-K-HCL

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MIDAS-K-HFX

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MIDAS-K-BR2

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MIDAS-K-XCF

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MIDAS-K-HAL

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MIDAS-K-CO2

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MIDAS-K-COX

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MIDAS-K-B2H

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MIDAS-K-H2X

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MIDAS-K-LEL

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MIDAS-K-HCN

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MIDAS-K-H2S

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MIDAS-K-XHF

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MIDAS-K-NOX

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MIDAS-K-NO2

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MIDAS-K-02X

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MIDAS-K-O3X

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MIDAS-K-PH3

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MIDAS-K-SHX

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MIDAS-K-SHL

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MIDAS-K-SO2

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MIDAS-K-TEO

霍尼韋爾Honeywell Analytics 磷化氫氣體偵測(cè)器傳感器，MIDAS-E-PH3現(xiàn)貨100個(gè)

?

Honeywell Analytics 磷化氫氣體偵測(cè)器探頭，MIDAS-E-PH3現(xiàn)貨MIDAS-E-PHX

?

?故障排除和故障診斷
Midas?氣體檢測(cè)儀的一般故障排除指南和特定故障代碼表。請(qǐng)檢查
Honeywell?Analytics?的網(wǎng)站或聯(lián)系?Honeywell?Analytics?以了解有關(guān)當(dāng)前軟件版本的詳細(xì)信息。
表?11-1。故障代碼說(shuō)明。
過(guò)錯(cuò)
代碼?描述?條件?恢復(fù)
m9?模擬維護(hù)故障?用戶生成了模擬故障。重置模擬故障。
m10
范圍外。
檢測(cè)到高濃度。這
Midas?需要獨(dú)立確認(rèn)
氣體危害消失了。
向?Midas?供應(yīng)已知的清潔空氣并清除此故障。
m11?用戶校準(zhǔn)已過(guò)期。用戶指定的校準(zhǔn)間隔已過(guò)。執(zhí)行零位和跨度校準(zhǔn)。增加跨度校準(zhǔn)周期。
m12?墨盒即將到期。墨盒已舊，即將到期。用新墨盒更換墨盒。
m13
流量錯(cuò)誤。?Midas?不再能夠調(diào)節(jié)流量（高或
低流量條件）。
檢查過(guò)濾器和泵。
檢查入口和出口處的壓力并確保它們?cè)谝?guī)格范圍內(nèi)。
（參見(jiàn)第?4.3?節(jié)樣品和排氣管計(jì)算）
m14?存在干擾。干擾物正在降低人的能力
Midas?檢測(cè)氣體。檢查應(yīng)用程序。
m15?溫度接近極限。溫度限制在?2?攝氏度以內(nèi)。檢查安裝環(huán)境。
m16?基線故障。傳感器基線漂移。檢查背景氣體濃度、溫度或濕度波動(dòng)。
執(zhí)行零位校準(zhǔn)。更換墨盒。
m17?禁止超時(shí)。發(fā)射器處于禁止模式的時(shí)間過(guò)長(zhǎng)。恢復(fù)監(jiān)控或增加超時(shí)值。
F39?模擬故障?用戶生成了模擬故障。重置模擬故障。
F40?傳感器過(guò)量。傳感器暴露在高氣體中
長(zhǎng)期集中。更換墨盒。
F41?基線故障。傳感器基線漂移。檢查背景氣體濃度、溫度或濕度波動(dòng)。
執(zhí)行零位校準(zhǔn)。更換墨盒。
F42?校準(zhǔn)已過(guò)期。距離上次校準(zhǔn)時(shí)間過(guò)長(zhǎng)。更換或校準(zhǔn)墨盒。
F43?墨盒已過(guò)期。墨盒太舊。更換墨盒。
F44?單元故障。墨盒?Reflex?檢查失敗。更換墨盒。
F45?穩(wěn)定超時(shí)。墨盒無(wú)法穩(wěn)定。如果存在溫度或濕度沖擊，請(qǐng)對(duì)墨盒進(jìn)行預(yù)處理。檢查
背景氣體濃度。更換墨盒。
F46?墨盒模擬故障。電子故障或氣體濃度更大
比滿量程。更換墨盒。
F47?墨盒內(nèi)存無(wú)效。校驗(yàn)和錯(cuò)誤。更換墨盒。
F48?墨盒不存在。沒(méi)有通訊。重新安裝墨盒。更換墨盒。
F49?墨盒類型錯(cuò)誤。啟動(dòng)后發(fā)現(xiàn)墨盒類型不正確。如果正確，請(qǐng)更換墨盒或按“3”接受。
F80?溫度限制
超過(guò)。溫度超出限制?檢查安裝環(huán)境。
F81?流失敗。流量? F82?電氣噪音過(guò)大。內(nèi)部電子設(shè)備反復(fù)嘈雜。檢查?Midas?底盤(pán)的接地。檢查電纜屏蔽層的端接。
將?Midas?遠(yuǎn)離噪音源。在電纜中添加鐵氧體電感器。
F83?熱解器失敗。熱解器無(wú)法加熱。檢查熱解器的電氣連接。更換熱解器。?（另見(jiàn)部分
4.3)
F84?雜項(xiàng)。發(fā)射機(jī)故障。發(fā)射器有缺陷。維修或更換?Midas。
F86?協(xié)處理器故障?協(xié)處理器損壞。聯(lián)系霍尼韋爾分析服務(wù)。
F87?熱解器溫度限制
超過(guò)
超過(guò)熱解器溫度。清潔熱解器冷卻通風(fēng)口。聯(lián)系霍尼韋爾分析服務(wù)。
F88?熱解器加熱器故障?熱解器加熱器出現(xiàn)故障。聯(lián)系霍尼韋爾分析服務(wù)。更換熱解器。
F89?熱解器功率?unreg?在指定時(shí)間內(nèi)未達(dá)到目標(biāo)功率
跨度。
檢查?24?伏電源。如果不是?24?VDC?±2.4，請(qǐng)聯(lián)系霍尼韋爾
分析服務(wù)。更換熱解器。
F90?熱解器加熱器不匹配?需要不同的熱解器類型?聯(lián)系霍尼韋爾分析服務(wù)。
需要?F91?HTP?模塊?檢查?MIDAS-S-CFX?或?MIDAS-E-CFX?是否
安裝在高溫?zé)峤馄魃?br /> 版本
更改為?HT?Pyrolyzer
F92?NP1/0P3?熱解模塊
失敗
數(shù)據(jù)值：0x0800
NP1/0P3?熱解器未能升溫
更換熱解器加熱器（僅適用于?0P3?熱解器）
數(shù)據(jù)值：0x1000
NP1/0P3?熱解器流量超出范圍
檢查?Midas?和?NP1/0P3?熱解器之間的流量連接
數(shù)據(jù)值：其他
NP1/0P3?熱解器內(nèi)部故障

聯(lián)系霍尼韋爾分析服務(wù)。?

HONEYWELL H7080B3243 溫濕度傳感器

HONEYWELL MIDAS-E-HFX 氣體探測(cè)器探頭

?Honeywell MIDAS-E-H2X 氣體探頭

?Honeywell MIDAS-E-PH3 氣體探測(cè)器

HONEYWELL MIDAS-E-SHX 氣體探測(cè)器探頭

?Honeywell MIDAS-E-H2X 氣體探頭

HONEYWELL MIDAS-E-HFX 氣體探測(cè)器探頭

HONEYWELL MIDAS-E-SHX 氣體探測(cè)器探頭

HONEYWELL MIDAS-E-ASH 氣體探測(cè)器探頭

?Honeywell MIDAS-L-O2S 氣體探頭

?Honeywell MIDAS-E-HCL 氣體探頭

?Honeywell MIDAS-E-H2X 氣體探頭

HONEYWELL MIDAS-E-SHX 氣體探測(cè)器探頭

HONEYWELL MIDAS-E-SHX 氣體探測(cè)器探頭

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?Honeywell MIDAS-T-006G 主機(jī)

?Honeywell MIDAS-T-006G 主機(jī)

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HONEYWELL MIDAS-E-HAL 氣體探測(cè)器

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?Honeywell MIDAS-T-004G 主機(jī)

?Honeywell MIDAS-T-004G 主機(jī)

?Honeywell MIDAS-T-004G 主機(jī)

HONEYWELL MIDAS-A-009 過(guò)濾器

HONEYWELL WFS-1001-H 水流開(kāi)關(guān)

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HONEYWELL 9602-9900 氣體偵測(cè)器

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?Honeywell LSB1A 開(kāi)關(guān)

HONEYWELL MIDAS-A-009 過(guò)濾器

HONEYWELL MIDAS-A-009 過(guò)濾器

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HONEYWELL 3116 火花塞

HONEYWELL 3136 火花塞

HONEYWELL 管子

HONEYWELL MIDAS-A-009 過(guò)濾器

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HONEYWELL H7080B3243 溫濕度傳感器

HONEYWELL MIDAS-E-HFX 氣體探測(cè)器探頭

?Honeywell MIDAS-E-H2X 氣體探頭

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HONEYWELL MIDAS-E-HFX 氣體探測(cè)器探頭

HONEYWELL MIDAS-E-SHX 氣體探測(cè)器探頭

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HONEYWELL MIDAS-E-SHX 氣體探測(cè)器探頭

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?Honeywell MIDAS-T-006G 主機(jī)

?Honeywell MIDAS-T-006G 主機(jī)

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?Honeywell 780248 過(guò)濾器

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HONEYWELL 3116 火花塞

HONEYWELL 3136 火花塞

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HONEYWELL MIDAS-A-009 過(guò)濾器

HONEYWELL MIDAS-E-NO2 傳感器

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