?Wafergard
?III?NF?微型在線(xiàn)氣體過(guò)濾器
為超純氣體系統(tǒng)提供卓越的惰性和反應(yīng)性氣體顆粒過(guò)濾。
可用的最清潔、最高效的全金屬過(guò)濾器
獲得專(zhuān)利的鎳過(guò)濾膜具有卓越的耐腐蝕性和與惰性氣體和反應(yīng)性氣體的出色兼容性*
最先進(jìn)的外殼組件通過(guò)最小化焊接面積來(lái)消除除氣
全金屬結(jié)構(gòu)是高溫和動(dòng)態(tài)壓力應(yīng)用的理想選擇
緊湊的尺寸和靈活的配件選擇可提高設(shè)計(jì)效率并最大限度地降低工程成本
*不建議與?CO、O?3和低含量氫化物摻雜劑氣體一起使用。
應(yīng)用
Wafergard
?III?NF?微型在線(xiàn)氣體過(guò)濾器應(yīng)用
超純氣體管線(xiàn)
高溫應(yīng)用
新工廠(chǎng)建設(shè)
動(dòng)壓應(yīng)用
惰性和反應(yīng)性氣體
產(chǎn)品規(guī)格
材料 濾芯 獲得專(zhuān)利的燒結(jié)鎳膜過(guò)濾器
? 住房 電拋光?VAR?316L?不銹鋼外殼
下游清潔度 粒子* 小于?0.03?個(gè)顆粒/升?(<1?個(gè)顆粒/ft?3?)?大于?0.01?μm
? 易揮發(fā)的** H?2?O、O?2和?THC?的揮發(fā)性釋氣低于可檢測(cè)限（在室溫下通過(guò)?RGA?和?FID）
移除等級(jí) ≥0.0015?微米
表面處理內(nèi)部 ≤5?μin?Ra
氦泄漏等級(jí) 合格的 2x10?-10??atm?cc/秒。
? 經(jīng)過(guò)測(cè)試 1x10?-9??atm?cc/秒。
運(yùn)行條件 最大允許工作壓力（設(shè)計(jì)壓力）：207?bar?(3000?psi)?@?100°C?(212°F)
? 最大正向/反向壓差：35?bar?(500?psid)
? 最高工作溫度：惰性氣體?400°C?(752°F)?@?35?bar?(500?psi)；腐蝕性和反應(yīng)性氣體：50°C?(122°F)?@?70?bar?(1000?psi)
保修單 5年
顆粒保留 大于?99.9999999%?(9?LRV)?去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
流量等級(jí) 參考性能數(shù)據(jù)
*顆粒清潔度符合?SEMASPEC?顆粒粉碎測(cè)試方法?(#93021511A-STD)
**揮發(fā)性清潔度符合?SEMASPEC?THC?貢獻(xiàn)測(cè)試方法?(#90120396B-STD)、水分貢獻(xiàn)?(#90120397B-STD)?和氧氣貢獻(xiàn)?(#?90120398B-STD）。
零件號(hào)
Wafergard
?III?NF?微型在線(xiàn)氣體過(guò)濾器部件號(hào)
零件號(hào) 接頭尺寸和類(lèi)型 長(zhǎng)度
WG3L005NS2S1 1/8"?Swagelok
?壓縮接頭 50.8?毫米（2.00?英寸）
WG3NS5RR2 1/4"?墊片密封（與?VCR?接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1?毫米（3.31?英寸）
WG3NSMFF2 1/4"?墊片密封（與?VCR?接頭兼容）內(nèi)螺紋入口/出口 58.4?毫米（2.30?英寸）
WG3NSMFR2 1/4"?極化墊圈密封（與?VCR?接頭兼容）內(nèi)螺紋入口/外螺紋出口 71.1?毫米（2.80?英寸）
WG3NSMJJ2 1/4"?對(duì)接焊入口/出口 28.4?毫米（1.12?英寸）
WG3NSMRF2 1/4"?極化墊片密封件（與?VCR?接頭兼容）外螺紋入口/內(nèi)螺紋出口 71.1?毫米（2.80?英寸）
WG3NSMSL2 1/4"?墊片密封（與?VCR?接頭兼容）外螺紋入口/出口 50.8?毫米（2.00?英寸）
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