最先進(jìn)的外殼組件通過(guò)最小化焊接面積來(lái)消除除氣
全金屬結(jié)構(gòu)非常適合高溫和動(dòng)態(tài)壓力應(yīng)用
緊湊的尺寸和靈活的配件選擇提供了極高的設(shè)計(jì)效率并最大限度地降低了工程成本
應(yīng)用
Wafergard?III?NF?Mini/Mini?XL?在線氣體過(guò)濾器應(yīng)用
超純氣體管線
高溫和動(dòng)壓應(yīng)用
惰性和反應(yīng)性氣體
氣柜和面板
閥組箱
掛鉤
注意：不建議與?CO、O?3和低含量氫化物摻雜劑氣體一起使用
產(chǎn)品規(guī)格
材料 濾膜 鎳
? 外殼，端蓋 低硫316L不銹鋼
初始下游清潔度 ≤0.03?個(gè)顆粒/升（≤1?個(gè)顆粒/ft?3）?≥0.01?μm
移除等級(jí) ≥0.0015?微米
顆粒保留 Greater?than?99.9999999%?(9?LRV)?removal?of?all?particles?at?60?slm?(Mini)?and?120?slm?(Mini?XL):?referenced?at?the?most?penetrating?particle?size
Surface?finish?interior ≤?5?μin?Ra
Helium?leak?rating Tested 9?×?10-10?Pa?m3c?(9?×?10-9?atm?ccc)
Maximum?conditions Maximum?operating?pressure: 16.2?MPa?(162?bar,?2346?psid)?at?20°C?(68°F)
? Maximum?forward/reverse?differential?pressure: 3.3?MPa?(33?bar,?485?psid)?@RT
? Maximum?design?temperature: Inert?gases:?400°C?(725°F)
Flow?rating Refer?to?performance?data
?零件號(hào)
Wafergard?III?NF?Mini/Mini?XL?在線氣體過(guò)濾器部件號(hào)
零件號(hào) 接頭尺寸和類(lèi)型 長(zhǎng)度
WG3NS1RR2 1/4"?墊片密封（與?VCR?接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1?毫米（3.31?英寸）
WG3NS2RR2 1/4"?墊片密封（與?VCR?接頭兼容）外螺紋入口/出口 127.0?毫米（5.00?英寸）
WG3NS2RR4 1/2"?墊片密封（與?VCR?接頭兼容）外螺紋入口/出口 133.3?毫米（5.25?英寸）?

ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼

ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯

ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼

ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯

Entegris WGFGT1PR1 12027 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過(guò)濾器

ENTEGRIS WG2F15HJJ6 21344 濾芯

ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼

ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯

ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過(guò)濾器

ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過(guò)濾器

Entegris WG2SS8RR2 16378 過(guò)濾器

Entegris WG3NS6RR2 16379 過(guò)濾器

Entegris WG2SS8RR2 16378 過(guò)濾器

Entegris WG3NS6RR2 16379 過(guò)濾器

ENTEGRIS WG3NS1RR2 17377 過(guò)濾器

ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過(guò)濾器

Entegris WGFGMBRR4 12026

Entegris CR4-2C-6F-3 17668 氣動(dòng)閥

Entegris WGPM0GGG2 13134 過(guò)濾器

Entegris WG2FT1SS2 17868 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過(guò)濾器

ENTEGRIS XX67000WH 12232 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGGB01KAN 12231 氣體過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFG01KL0 12230 過(guò)濾器

ENTEGRIS PLMV-K12 20499 閥

ENTEGRIS PLMV-K04 20460 閥

ENTEGRIS PLMV-K16 20461 閥

ENTEGRIS PLPV-K04 20463 閥

ENTEGRIS PLPV-K08 20464 閥

ENTEGRIS PLPV-K12 20500 閥

ENTEGRIS PLPV-K16 20465 閥

entegris WGFGMBRR4 12026 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過(guò)濾器

ENTEGRIS XX67000WH 12232 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGGB01KAN 12231 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFG01KL0 12230 過(guò)濾器

ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 16417 閥

ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 偵測(cè)器

ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 氣動(dòng)閥

ENTEGRIS YY260103N 17526 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過(guò)濾器

ENTEGRIS ?CTFV01P01KPW 18139 濾芯

ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 13085331 18609 氣動(dòng)閥

ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGMXMSRR4 19876 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過(guò)濾器

ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 16417 氣動(dòng)閥

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過(guò)濾器

entegris WGFGT1PR1 12027 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過(guò)濾器

Entegris WG2FT1RR2 20415 過(guò)濾器

Entegris WG2FT1RR2 20415 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過(guò)濾器

Entegris WG2FT1RR2 20415 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過(guò)濾器

Entegris CWFV0S1S3 19143 濾芯

Entegris WG2FT1RR2 20415 過(guò)濾器

Entegris WGPM0GGT4 12028 過(guò)濾器

Entegris WGMXMBRR4 15235 過(guò)濾器

Entegris WGFG02PR1 15957 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過(guò)濾器

ENTEGRIS WG2F02RR2 20483

Entegris YY5032PS1 20649 過(guò)濾器

Entegris SVTH01TQ1 20007 過(guò)濾器

Entegris YY5032PS1 20649

Entegris WGFG21KP0 20840

Entegris WGFG21KP0 20840

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFG50PR1 20215 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700

ENTEGRIS WG2F15HJJ6 21344

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFG50PR1 20215 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過(guò)濾器

ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過(guò)濾器

Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG? WG3NS6RR2 21440 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700

ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過(guò)濾器

Entegris WG2SS8RR2 16378 過(guò)濾器

ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過(guò)濾器

ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過(guò)濾器

Entegris WG2FT1RR2 20415 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700

ENTEGRIS WGFG01DS0 21000 過(guò)濾器

Entegris WG2FT1RR2 20415 過(guò)濾器

Entegris WG2FT1RR2 20415 過(guò)濾器

Entegris WG2FT1RR2 20415 過(guò)濾器

ENTEGRIS CN2501E6 19924 濾芯

Entegris WGFGT1PR1 12027 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過(guò)濾器

ENTEGRIS CN2501E06 19921 濾芯

ENTEGRIS WG2SS8RR2 16378 過(guò)濾器

ENTEGRIS CN2501E6 19924 濾芯

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFG01DSH 20395 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700

ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過(guò)濾器

ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 氣動(dòng)閥

ENTEGRIS WGMXMBRR2 20616

ENTEGRIS WGFG01DS0（一包十個(gè)） 17994 濾芯

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過(guò)濾器

ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過(guò)濾器

ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼

ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯

ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼

ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯

Entegris WGFGT1PR1 12027 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過(guò)濾器

ENTEGRIS WG2F15HJJ6 21344 濾芯

ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼

ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯

ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過(guò)濾器

ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過(guò)濾器

Entegris WG2SS8RR2 16378 過(guò)濾器

Entegris WG3NS6RR2 16379 過(guò)濾器

Entegris WG2SS8RR2 16378 過(guò)濾器

Entegris WG3NS6RR2 16379 過(guò)濾器

ENTEGRIS WG3NS1RR2 17377 過(guò)濾器

ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過(guò)濾器

Entegris WGFGMBRR4 12026

Entegris CR4-2C-6F-3 17668 氣動(dòng)閥

Entegris WGPM0GGG2 13134 過(guò)濾器

Entegris WG2FT1SS2 17868 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過(guò)濾器

ENTEGRIS XX67000WH 12232 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGGB01KAN 12231 氣體過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFG01KL0 12230 過(guò)濾器

ENTEGRIS PLMV-K12 20499 閥

ENTEGRIS PLMV-K04 20460 閥

ENTEGRIS PLMV-K16 20461 閥

ENTEGRIS PLPV-K04 20463 閥

ENTEGRIS PLPV-K08 20464 閥

ENTEGRIS PLPV-K12 20500 閥

ENTEGRIS PLPV-K16 20465 閥

entegris WGFGMBRR4 12026 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過(guò)濾器

ENTEGRIS XX67000WH 12232 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGGB01KAN 12231 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFG01KL0 12230 過(guò)濾器

ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 16417 閥

ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 偵測(cè)器

ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 氣動(dòng)閥

ENTEGRIS YY260103N 17526 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過(guò)濾器

ENTEGRIS ?CTFV01P01KPW 18139 濾芯

ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 13085331 18609 氣動(dòng)閥

ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGMXMSRR4 19876 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過(guò)濾器

ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 16417 氣動(dòng)閥

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過(guò)濾器

entegris WGFGT1PR1 12027 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過(guò)濾器

Entegris WG2FT1RR2 20415 過(guò)濾器

Entegris WG2FT1RR2 20415 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過(guò)濾器

Entegris WG2FT1RR2 20415 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過(guò)濾器

Entegris CWFV0S1S3 19143 濾芯

Entegris WG2FT1RR2 20415 過(guò)濾器

Entegris WGPM0GGT4 12028 過(guò)濾器

Entegris WGMXMBRR4 15235 過(guò)濾器

Entegris WGFG02PR1 15957 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過(guò)濾器

ENTEGRIS WG2F02RR2 20483

Entegris YY5032PS1 20649 過(guò)濾器

Entegris SVTH01TQ1 20007 過(guò)濾器

Entegris YY5032PS1 20649

Entegris WGFG21KP0 20840

Entegris WGFG21KP0 20840

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFG50PR1 20215 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700

ENTEGRIS WG2F15HJJ6 21344

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFG50PR1 20215 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過(guò)濾器

ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過(guò)濾器

Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG? WG3NS6RR2 21440 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700

ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過(guò)濾器

Entegris WG2SS8RR2 16378 過(guò)濾器

ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過(guò)濾器

ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過(guò)濾器

Entegris WG2FT1RR2 20415 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700

ENTEGRIS WGFG01DS0 21000 過(guò)濾器

Entegris WG2FT1RR2 20415 過(guò)濾器

Entegris WG2FT1RR2 20415 過(guò)濾器

Entegris WG2FT1RR2 20415 過(guò)濾器

ENTEGRIS CN2501E6 19924 濾芯

Entegris WGFGT1PR1 12027 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過(guò)濾器

ENTEGRIS CN2501E06 19921 濾芯

ENTEGRIS WG2SS8RR2 16378 過(guò)濾器

ENTEGRIS CN2501E6 19924 濾芯

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFG01DSH 20395 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700

ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過(guò)濾器

ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 氣動(dòng)閥

ENTEGRIS WGMXMBRR2 20616

ENTEGRIS WGFG01DS0（一包十個(gè)） 17994 濾芯

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過(guò)濾器

ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過(guò)濾器

ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼

ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯

ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼

?