美國entegris英特格,Wafergard?GTL在線氣體過濾器WGFG01DS0
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?WafergardGTL在線氣體過濾器以高達(dá)60?slpm的流速可靠地從惰性氣體中去除顆粒。
提供惰性氣體的高效,低成本,使用點過濾
>?99.9999999%去除直徑大于0.003μm的所有顆粒
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產(chǎn)品規(guī)格
材料:膜:疏水性含氟聚合物PTFE
?支架,外殼:聚砜
推薦流速:60 slpm
連接方式:Rc1?4(PT1?4母頭),1?4” NPT母頭
膜面積:25厘米2(3.9英寸2)
顆粒保留:> 99.9999999%的直徑大于0.003μm的所有顆粒的去除率(在具穿透性的粒徑條件下驗證)
運行條件:大工作壓力:20°C時為0.41 MPa(4.1 bar,56.6 psid)
?大前進(jìn)壓差:20°C時為0.41 MPa(4.1 bar,56.6 psid)
?大反向差壓:20°C時為0.03 MPa(0.3 bar,4.35 psid)
?高工作溫度:50°C(122°F)
尺寸圖直徑:25毫米(0.98英寸)
?長度:101毫米(4.0英寸)
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