Wafergard
?SG?YY?系列氣體過濾器提供卓越的微粒過濾功能，可最大限度地提高光伏電池和顯示器制造的產(chǎn)量。?
與高純度氣體、惰性氣體和?CDA?應(yīng)用具有出色的相容性
卓越的下游清潔度
應(yīng)用
Wafergard
?SG?氣體過濾器應(yīng)用
光伏工藝氣體
顯示制造工藝氣體
煤氣柜
閥組箱
煤氣板
零件號(hào)
Wafergard
?SG?氣體過濾器部件號(hào)
零件號(hào) 產(chǎn)品類別 最大流量 接頭尺寸和類型 長度
WGFG02PR1 Wafergard
?SG?F?Mini?XL?氣體過濾器 120?升/分 1/4"?墊圈密封（兼容?VCR
） 127?毫米（5.00"）
WGFG02PS1 Wafergard
?SG?F?Mini?XL?氣體過濾器 120?升/分 1/4"?壓縮密封（與?Swagelok
?兼容） 115.5?毫米（4.55"）
WGFG32PR1 Wafergard
?SG?F?Mini?XL?氣體過濾器 120?升/分 1/2"?墊圈密封（兼容?VCR
） 133.5?毫米（5.26"）
WGFG32PS1 Wafergard
?SG?F?Mini?XL?氣體過濾器 120?升/分 3/8"?壓縮密封（與?Swagelok
?兼容） 119.3?毫米（4.70"）
WGFG50PR1 Wafergard
?SG?F?Mini?XL?氣體過濾器 120?升/分 1/2"?墊圈密封（兼容?VCR
） 127?毫米（5.00"）
WGFGMBPRF2 Wafergard
?SG?Max?氣體過濾器 500?升/分 1/4"?墊圈密封（與?VCR?接頭兼容）外螺紋入口/內(nèi)螺紋出口 141.2?毫米（5.6"）
WGFGMBRR2 Wafergard
?SG?Max?氣體過濾器 500?升/分 1/4"?墊圈密封（兼容?VCR
） 127?毫米（5.00"）
WGFGMBRR4 Wafergard
?SG?Max?氣體過濾器 1000?升/分 1/2"?墊圈密封（兼容?VCR
） 127?毫米（5.00"）
WGFGMBSS2 Wafergard
?SG?Max?氣體過濾器 500?升/分 1/4"?壓縮密封（與?Swagelok
?兼容） 112.7?毫米（4.44"）
WGFGMBSS3 Wafergard
?SG?Max?氣體過濾器 1000?升/分 3/8"?壓縮密封（與?Swagelok
?兼容） 117.9?毫米（4.64"）
WGFGMBSS4 Wafergard
?SG?Max?氣體過濾器 1000?升/分 1/2"?壓縮密封（與?Swagelok
?兼容） 118.7?毫米（4.67"）
WGFGT1PR1 Wafergard
?SG?F?微型氣體過濾器 60?升/分 1/4"?墊圈密封（兼容?VCR
） 84.1?毫米（3.31"）
WGFGT1PS1 Wafergard
?SG?F?微型氣體過濾器 60?升/分 1/4"?壓縮密封（與?Swagelok
?兼容） 73.7?毫米（2.90"）
YY5001HR1 Wafergard
?SG?PA?氣體過濾器 60?升/分 1/4"?墊圈密封（兼容?VCR
） 84.1?毫米（3.31"）
YY5001HS1 Wafergard
?SG?PA?氣體過濾器 60?升/分 1/4"?壓縮密封（與?Swagelok
?兼容） 73.7?毫米（2.90"）
YY5002PR1 Wafergard
?SG?PAL?gas?filters 120?slpm 1/4"?gasket?seal?(VCR
?compatible) 127.0?mm?(5.00")
YY5002PS1 Wafergard
?SG?PAL?gas?filters 120?slpm 1/4"?compression?seal?(Swagelok
?compatible) 115.5?mm?(4.55")
YY5032PR1 Wafergard
?SG?PAL?gas?filters 200?slpm 3/8"?Gasket?seal?(VCR
?compatible) 133.5?mm?(5.26")
YY5032PS1 Wafergard
?SG?PAL?gas?filters 200?slpm 3/8"?compression?seal?(Swagelok
?compatible) 119.3?mm?(4.70")
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