ENTEGRIS在線氣體過濾器，WG3NS8RR2P，WG3NS8SL2，WG3NS8RR2

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美國ENTEGRIS應(yīng)特格，WG3NS8RR2現(xiàn)貨，Wafergard? III NF Micro XL 在線氣體過濾器

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?為超純氣體系統(tǒng)過濾提供卓越的微粒過濾，是高溫和動態(tài)壓力應(yīng)用的理想選擇。

最先進(jìn)的外殼組件通過最小化焊接區(qū)域來消除除氣
全金屬結(jié)構(gòu)是高溫和動態(tài)壓力應(yīng)用的理想選擇
緊湊的尺寸和靈活的配件選擇提供了最高的設(shè)計效率并最大限度地降低了工程成本
應(yīng)用
Wafergard?III?NF?Micro?XL?在線氣體過濾器應(yīng)用
超純氣體管線
高溫應(yīng)用
新工廠建設(shè)
動壓應(yīng)用
惰性和活性氣體
產(chǎn)品規(guī)格

材料 濾芯 燒結(jié)鎳膜過濾器
? 住房 電拋光?VAR316L?不銹鋼外殼
下游清潔度 粒子 <0.03?顆粒/升（<1?顆粒/ft?3）?>0.01?μm
? 揮發(fā)物 Volatile?outgassing?of?H2O,?O2,?and?THC?is?below?detectable?limits?(by?RGA?and?FID?at?room?temperature)
Removal?rating ≥0.0015?μm
Surface?finsh?interior ≤5?μin?Ra
Helium?leak?rating Qualified 2?×?10-10?atm-ccc.
? Tested 1?×?10-9?atm-ccc.
Maximum?operating?conditions: Maximum?inlet?pressure 20?MPa?(200?bar,?2900?psid)?at?20°C?(68oF)
? Design?pressure 20?MPa?(200?bar,?2900?psid)?at?20°C?(68oF)
? Maximum?forward/reverse?differential?pressure 1?MPa?(10?bar,?150?psid)
? Maximum?operating?temperature Inert?gases 400°C?(725°F)?@?35?bar?(500?psi)
? ? Corrosive?and?reactive?gases 50°C?(122°F)?@?70?bar?(1000?psi)
Warranty 5?year
Particle?retention Greater?than?99.9999999%?(9?LRV)?removal?of?all?particles?at?15?slpm
Flow?rating Refer?to?performance?data
?零件號
Wafergard?III?NF?Micro?XL?在線氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WG3NS8RR2 1/4"?墊圈密封件（與?VCR?接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1?毫米（3.31"）
WG3NS8RR2P 1/4"?墊圈密封（與?VCR?接頭兼容）外螺紋入口/出口，接頭用塑料蓋代替金屬蓋保護(hù) 84.1?毫米（3.31"）

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