Wafergard?MAX?在線?PTFE?氣體過濾器

這些在線?PTFE?氣體過濾器與高純度氣體兼容，并在?超純氣體應用?以及?一般氮氣和?CDA?應用中提供卓越的顆粒過濾。

PTFE?濾芯在超純應用中表現出色?
專為高流量和低增量壓力應用而設計?
用于惰性和反應性氣體，包括臭氧?
為快速啟動而預先調節(jié)（僅限銀色）?
應用
Wafergard?MAX?在線?PTFE?氣體過濾器應用
兼容所有類別的半導體工藝氣體
與一般氮氣和?CDA?應用兼容
產品規(guī)格
材料 濾芯 由模壓?PFA?結構支撐的疏水?PTFE?膜
? 住房 電拋光低硫?316L?不銹鋼外殼
下游清潔度 粒子 小于?0.03?個顆粒/升?(<1?個顆粒/ft?3?)?大于?0.01?μm
? 揮發(fā)物（銀） <10?ppb?H?2?O?和?O?2。低于?LDL?THC（檢測下限為?5?ppb）
移除等級 ≥0.0015?微米
表面處理內部 WGMX（青銅）MB?XXXX ≤20?μin?Ra
? WGMX（銀/青銅加）MS?XXX/XXX ≤7?μin?Ra
氦泄漏等級 合格的 2?x?10?-10?atm-cc/秒
? 經過測試 1?x?10?-9?atm-cc/秒
運行條件
? 最大入口壓力
? Silver?和?Bronze?Plus?1?4"?和?1?2"?VCR?兼容接頭：7.0?MPa?(70?bar,?1015?psig)
? ? 青銅?1?4"?和?1?2"?VCR?兼容接頭：6.0?MPa?(60?bar,?870?psig)
? ? Bronze?和?Bronze?Plus?1?4"、3?8"?和?1?2"?Swagelok?兼容接頭：6.0?MPa?(60?bar,?870?psig)
? 最大正向壓差 7?巴?(102?psid)
? 最大反向壓差 2.5?巴?(36?psid)
? 最高工作溫度 120°C?(248°F)
流量等級 參考性能數據
保修單 青銅 1年
? 銀 3年
顆粒保留 大于?99.9999999%?(9?LRV)?去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
零件號
Wafergard?MAX?在線?PTFE?氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGMXMBPRF2 1/4"?公?VCR?入口，1/4"?母?VCR?出口 141.2?毫米（5.6?英寸）
WGMXMBRR2 1/4"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）
WGMXMBRR4 1/2"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）
WGMXMBSS2 1/4"?世偉洛克112.7?毫米（4.44?英寸）
WGMXMBSS3 3/8"?世偉洛克117.9?毫米?(4.64)
WGMXMBSS4 1/2"?世偉洛克118.7?毫米（4.67?英寸）
WGMXMPRR2 1/4"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）
WGMXMPRR4 1/2"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）
WGMXMPSS2 1/4"?世偉洛克112.7?毫米（4.44?英寸）
WGMXMPSS3 3/8"?世偉洛克117.9?毫米?(4.64)
WGMXMPSS4 1/2"?世偉洛克118.7?毫米（4.67?英寸）
WGMXMSBW2 1/4"?對焊管 133.4?毫米（5.25?英寸）
WGMXMSBW3 3/8"?對焊管 133.4?毫米（5.25?英寸）
WGMXMSBW4 1/2"?對焊管 133.4?毫米（5.25?英寸）
WGMXMSRR2 1/4"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）

WGMXMSRR4 1/2"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）

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ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器

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ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）

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Entegris WG2FT1RR2 過濾器

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ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器

ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器

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Entegris WG2FT1RR2 過濾器

ENTEGRIS WG3NSMSL2

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ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器

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Entegris WG2FT1RR2 過濾器

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Entegris WGMXMBRR4 過濾器

ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器

Entegris WG2FT1SS2 過濾器

ENTEGRIS WGMXMSRR2

ENTEGRIS LGMXFPSS4

ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）

ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器

ENTEGRIS WG3NSMSL2

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ENTEGRIS WGMXMPRR4

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Entegris WG2FT1SS2 過濾器

ENTEGRIS WG3NSMSL2

ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器

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Entegris WG2FT1RR2 過濾器

Entegris WG2FT1RR2 過濾器

Entegris WG2FT1RR2 過濾器

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ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器

ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器

Entegris WG2FT1RR2 過濾器

ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器

Entegris WGMXMBRR4 過濾器

ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器

Entegris WG2FT1SS2 過濾器

ENTEGRIS WGMXMSRR2

ENTEGRIS LGMXFPSS4

ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）

ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器

ENTEGRIS WG3NSMSL2

ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器

ENTEGRIS WGMXMPRR4

ENTEGRIS WGMXMPSS3

ENTEGRIS WG2F02RR4

Entegris WG2FT1SS2 過濾器

ENTEGRIS WG3NSMSL2

ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2

ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器

Entegris WG2FT1RR2 過濾器

Entegris WG2FT1RR2 過濾器

Entegris WG2FT1RR2 過濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2

ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器

ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器

ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器

Entegris WG2FT1RR2 過濾器

ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器

Entegris WGMXMBRR4 過濾器

ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器

Entegris WG2FT1SS2 過濾器

ENTEGRIS WGMXMSRR2

ENTEGRIS LGMXFPSS4

ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）

ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器

ENTEGRIS WG3NSMSL2

ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器

ENTEGRIS WGMXMPRR4

ENTEGRIS WGMXMPSS3

ENTEGRIS WG2F02RR4

Entegris WG2FT1SS2 過濾器

ENTEGRIS WG3NSMSL2

ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2

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Entegris WG2FT1RR2 過濾器

Entegris WG2FT1RR2 過濾器

Entegris WG2FT1RR2 過濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2

ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器

ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器

ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器

Entegris WG2FT1RR2 過濾器

ENTEGRIS WG3NS8RR2 過濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器

Entegris WGMXMBRR4 過濾器

ENTEGRIS WG3NS1RR2 過濾器

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ENTEGRIS LGMXFPSS4

ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）

ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器

ENTEGRIS WG3NSMSL2

ENTEGRIS CBUG0S0S1 過濾器

ENTEGRIS WGMXMPRR4

ENTEGRIS WGMXMPSS3

ENTEGRIS WG2F02RR4

Entegris WG2FT1SS2 過濾器

ENTEGRIS WG3NSMSL2

ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2

ENTEGRIS WGPM0GGG2 過濾器

Entegris WG2FT1RR2 過濾器

Entegris WG2FT1RR2 過濾器

Entegris WG2FT1RR2 過濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2

ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器

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ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器

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