應(yīng)特格ENTEGRIS微型在線氣體過(guò)濾器，WG3NSMSL2，自營(yíng)現(xiàn)貨
應(yīng)特格ENTEGRIS微型在線氣體過(guò)濾器，WG3NSMSL2，自營(yíng)現(xiàn)貨
應(yīng)特格ENTEGRIS微型在線氣體過(guò)濾器，WG3NSMSL2，自營(yíng)現(xiàn)貨
應(yīng)特格ENTEGRIS微型在線氣體過(guò)濾器，WG3NSMSL2，自營(yíng)現(xiàn)貨
應(yīng)特格ENTEGRIS微型在線氣體過(guò)濾器，WG3NSMSL2，自營(yíng)現(xiàn)貨
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Wafergard
?MAX?在線?PTFE?氣體過(guò)濾器
這些在線?PTFE?氣體過(guò)濾器與高純度氣體兼容，并在?超純氣體應(yīng)用?以及?一般氮?dú)夂?CDA?應(yīng)用中提供卓越的顆粒過(guò)濾。
PTFE?濾芯在超純應(yīng)用中表現(xiàn)出色?
專為高流量和低增量壓力應(yīng)用而設(shè)計(jì)?
用于惰性和反應(yīng)性氣體，包括臭氧?
為快速啟動(dòng)而預(yù)先調(diào)節(jié)（僅限銀色）?
應(yīng)用
Wafergard?MAX?在線?PTFE?氣體過(guò)濾器應(yīng)用
兼容所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體
與一般氮?dú)夂?CDA?應(yīng)用兼容
產(chǎn)品規(guī)格
材料 濾芯 由模壓?PFA?結(jié)構(gòu)支撐的疏水?PTFE?膜
? 住房 電拋光低硫?316L?不銹鋼外殼
下游清潔度 粒子 小于?0.03?個(gè)顆粒/升?(<1?個(gè)顆粒/ft?3?)?大于?0.01?μm
? 揮發(fā)物（銀） <10?ppb?H?2?O?和?O?2。低于?LDL?THC（檢測(cè)下限為?5?ppb）
移除等級(jí) ≥0.0015?微米
表面處理內(nèi)部 WGMX（青銅）MB?XXXX ≤20?μin?Ra
? WGMX（銀/青銅加）MS?XXX/XXX ≤7?μin?Ra
氦泄漏等級(jí) 合格的 2?x?10?-10?atm-cc/秒
? 經(jīng)過(guò)測(cè)試 1?x?10?-9?atm-cc/秒
運(yùn)行條件
? 最大入口壓力
? Silver?和?Bronze?Plus?1?4"?和?1?2"?VCR?兼容接頭：7.0?MPa?(70?bar,?1015?psig)
? ? 青銅?1?4"?和?1?2"?VCR?兼容接頭：6.0?MPa?(60?bar,?870?psig)
? ? Bronze?和?Bronze?Plus?1?4"、3?8"?和?1?2"?Swagelok?兼容接頭：6.0?MPa?(60?bar,?870?psig)
? 最大正向壓差 7?巴?(102?psid)
? 最大反向壓差 2.5?巴?(36?psid)
? 最高工作溫度 120°C?(248°F)
流量等級(jí) 參考性能數(shù)據(jù)
保修單 青銅 1年
? 銀 3年
顆粒保留 大于?99.9999999%?(9?LRV)?去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
零件號(hào)
Wafergard?MAX?在線?PTFE?氣體過(guò)濾器部件號(hào)
零件號(hào) 接頭尺寸和類型 長(zhǎng)度
WGMXMBPRF2 1/4"?公?VCR?入口，1/4"?母?VCR?出口 141.2?毫米（5.6?英寸）
WGMXMBRR2 1/4"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）
WGMXMBRR4 1/2"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）
WGMXMBSS2 1/4"?世偉洛克112.7?毫米（4.44?英寸）
WGMXMBSS3 3/8"?世偉洛克117.9?毫米?(4.64)
WGMXMBSS4 1/2"?世偉洛克118.7?毫米（4.67?英寸）
WGMXMPRR2 1/4"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）
WGMXMPRR4 1/2"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）
WGMXMPSS2 1/4"?世偉洛克112.7?毫米（4.44?英寸）
WGMXMPSS3 3/8"?世偉洛克117.9?毫米?(4.64)
WGMXMPSS4 1/2"?世偉洛克118.7?毫米（4.67?英寸）
WGMXMSBW2 1/4"?對(duì)焊管 133.4?毫米（5.25?英寸）
WGMXMSBW3 3/8"?對(duì)焊管 133.4?毫米（5.25?英寸）
WGMXMSBW4 1/2"?對(duì)焊管 133.4?毫米（5.25?英寸）
WGMXMSRR2 1/4"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）
WGMXMSRR4 1/2"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）
?
?
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無(wú)包裝）
Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器
Entegris WGMXMBRR4 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過(guò)濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過(guò)濾器
Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過(guò)濾器
Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器
Entegris WGMXMBRR4 過(guò)濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過(guò)濾器
Entegris WG2FT1SS2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無(wú)包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過(guò)濾器
Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器
Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器
Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過(guò)濾器
Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器
Entegris WGMXMBRR4 過(guò)濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過(guò)濾器
Entegris WG2FT1SS2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無(wú)包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過(guò)濾器
Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器
Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器
Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過(guò)濾器
Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器
Entegris WGMXMBRR4 過(guò)濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過(guò)濾器
Entegris WG2FT1SS2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無(wú)包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過(guò)濾器
Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器
Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器
Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過(guò)濾器
Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WG3NS8RR2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器
Entegris WGMXMBRR4 過(guò)濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 過(guò)濾器
Entegris WG2FT1SS2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無(wú)包裝）
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS CBUG0S0S1 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGMXMPRR4
ENTEGRIS WGMXMPSS3
ENTEGRIS WG2F02RR4
Entegris WG2FT1SS2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過(guò)濾器
Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器
Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器
Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器
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