美國ENTEGRIS英特格Optimizer? DI 過濾器,CBUG0S0S1

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?專為使用點?(PoU)?光刻工藝中的去離子水應(yīng)用而設(shè)計的液體光化學(xué)過濾器。小膠囊形狀系數(shù)和干凈的膜/支撐/殼材料在?>?28?nm?節(jié)點應(yīng)用中提供高純度污染物去除性能。
應(yīng)用
Optimizer?DI?過濾器應(yīng)用
行業(yè)：半導(dǎo)體（光刻）
化學(xué)：光化學(xué)、溶劑
安裝點：工具點
產(chǎn)品規(guī)格
材料 膜： UPE*
? 支撐、核心、套筒： 高密度聚乙烯
? 住房： 聚丙烯
膜面積 DI 1800?平方厘米（1.94?平方英尺）
? DI-L 3600?平方厘米（3.88?平方英尺）
? DI-L?(20?納米) 2100?平方厘米（2.26?平方英尺）
保留評級 DI,?DI-L 0.2、0.1、0.05?微米、20?納米
配件 提供范圍廣泛的接頭，包括?Super?Type?Pillar?接頭、壓縮密封件（與?Swagelok?兼容的接頭）和?Flaretek?接頭。
運行條件 最大入口壓力 0.345?兆帕（3.45?巴，50?磅/平方英寸，3.52?千克/平方厘米）@?25°C?(77°F)
? 最大正向/反向壓差 0.345?兆帕（3.45?巴，50?磅/平方英寸，3.52?千克/平方厘米）@?25°C?(77°F)
? ? 0.28?MPa（2.8?bar，40?psi，2.8?kg/cm2）@?25°C（77°F）
? 工作溫度 60°C?(140°F)
*表面改性UPE
Entegris?建議客戶至少每年更換一次過濾器以確保最佳過濾性能。例行的年度更換也將減少因過度使用而導(dǎo)致化學(xué)品泄漏的可能性。
我們的標(biāo)準(zhǔn)保修期為?1?年（自?Entegris?發(fā)貨之日起）。

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