Wafergard?MAX?在線?PTFE?氣體過濾器

這些在線?PTFE?氣體過濾器與高純度氣體兼容，并在?超純氣體應(yīng)用?以及?一般氮?dú)夂?CDA?應(yīng)用中提供卓越的顆粒過濾。

PTFE?濾芯在超純應(yīng)用中表現(xiàn)出色?
專為高流量和低增量壓力應(yīng)用而設(shè)計(jì)?
用于惰性和反應(yīng)性氣體，包括臭氧?
為快速啟動(dòng)而預(yù)先調(diào)節(jié)（僅限銀色）?
應(yīng)用
Wafergard?MAX?在線?PTFE?氣體過濾器應(yīng)用
兼容所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體
與一般氮?dú)夂?CDA?應(yīng)用兼容
產(chǎn)品規(guī)格
材料 濾芯 由模壓?PFA?結(jié)構(gòu)支撐的疏水?PTFE?膜
? 住房 電拋光低硫?316L?不銹鋼外殼
下游清潔度 粒子 小于?0.03?個(gè)顆粒/升?(<1?個(gè)顆粒/ft?3?)?大于?0.01?μm
? 揮發(fā)物（銀） <10?ppb?H?2?O?和?O?2。低于?LDL?THC（檢測(cè)下限為?5?ppb）
移除等級(jí) ≥0.0015?微米
表面處理內(nèi)部 WGMX（青銅）MB?XXXX ≤20?μin?Ra
? WGMX（銀/青銅加）MS?XXX/XXX ≤7?μin?Ra
氦泄漏等級(jí) 合格的 2?x?10?-10?atm-cc/秒
? 經(jīng)過測(cè)試 1?x?10?-9?atm-cc/秒
運(yùn)行條件
? 最大入口壓力
? Silver?和?Bronze?Plus?1?4"?和?1?2"?VCR?兼容接頭：7.0?MPa?(70?bar,?1015?psig)
? ? 青銅?1?4"?和?1?2"?VCR?兼容接頭：6.0?MPa?(60?bar,?870?psig)
? ? Bronze?和?Bronze?Plus?1?4"、3?8"?和?1?2"?Swagelok?兼容接頭：6.0?MPa?(60?bar,?870?psig)
? 最大正向壓差 7?巴?(102?psid)
? 最大反向壓差 2.5?巴?(36?psid)
? 最高工作溫度 120°C?(248°F)
流量等級(jí) 參考性能數(shù)據(jù)
保修單 青銅 1年
? 銀 3年
顆粒保留 大于?99.9999999%?(9?LRV)?去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
零件號(hào)
Wafergard?MAX?在線?PTFE?氣體過濾器部件號(hào)
零件號(hào) 接頭尺寸和類型 長(zhǎng)度
WGMXMBPRF2 1/4"?公?VCR?入口，1/4"?母?VCR?出口 141.2?毫米（5.6?英寸）
WGMXMBRR2 1/4"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）
WGMXMBRR4 1/2"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）
WGMXMBSS2 1/4"?世偉洛克112.7?毫米（4.44?英寸）
WGMXMBSS3 3/8"?世偉洛克117.9?毫米?(4.64)
WGMXMBSS4 1/2"?世偉洛克118.7?毫米（4.67?英寸）
WGMXMPRR2 1/4"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）
WGMXMPRR4 1/2"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）
WGMXMPSS2 1/4"?世偉洛克112.7?毫米（4.44?英寸）
WGMXMPSS3 3/8"?世偉洛克117.9?毫米?(4.64)
WGMXMPSS4 1/2"?世偉洛克118.7?毫米（4.67?英寸）
WGMXMSBW2 1/4"?對(duì)焊管 133.4?毫米（5.25?英寸）
WGMXMSBW3 3/8"?對(duì)焊管 133.4?毫米（5.25?英寸）
WGMXMSBW4 1/2"?對(duì)焊管 133.4?毫米（5.25?英寸）
WGMXMSRR2 1/4"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）

WGMXMSRR4 1/2"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）

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