Wafergard?MAX?在線?PTFE?氣體過(guò)濾器

這些在線?PTFE?氣體過(guò)濾器與高純度氣體兼容，并在?超純氣體應(yīng)用?以及?一般氮?dú)夂?CDA?應(yīng)用中提供卓越的顆粒過(guò)濾。

PTFE?濾芯在超純應(yīng)用中表現(xiàn)出色?
專為高流量和低增量壓力應(yīng)用而設(shè)計(jì)?
用于惰性和反應(yīng)性氣體，包括臭氧?
為快速啟動(dòng)而預(yù)先調(diào)節(jié)（僅限銀色）?
應(yīng)用
Wafergard?MAX?在線?PTFE?氣體過(guò)濾器應(yīng)用
兼容所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體
與一般氮?dú)夂?CDA?應(yīng)用兼容
產(chǎn)品規(guī)格
材料 濾芯 由模壓?PFA?結(jié)構(gòu)支撐的疏水?PTFE?膜
? 住房 電拋光低硫?316L?不銹鋼外殼
下游清潔度 粒子 小于?0.03?個(gè)顆粒/升?(<1?個(gè)顆粒/ft?3?)?大于?0.01?μm
? 揮發(fā)物（銀） <10?ppb?H?2?O?和?O?2。低于?LDL?THC（檢測(cè)下限為?5?ppb）
移除等級(jí) ≥0.0015?微米
表面處理內(nèi)部 WGMX（青銅）MB?XXXX ≤20?μin?Ra
? WGMX（銀/青銅加）MS?XXX/XXX ≤7?μin?Ra
氦泄漏等級(jí) 合格的 2?x?10?-10?atm-cc/秒
? 經(jīng)過(guò)測(cè)試 1?x?10?-9?atm-cc/秒
運(yùn)行條件
? 最大入口壓力
? Silver?和?Bronze?Plus?1?4"?和?1?2"?VCR?兼容接頭：7.0?MPa?(70?bar,?1015?psig)
? ? 青銅?1?4"?和?1?2"?VCR?兼容接頭：6.0?MPa?(60?bar,?870?psig)
? ? Bronze?和?Bronze?Plus?1?4"、3?8"?和?1?2"?Swagelok?兼容接頭：6.0?MPa?(60?bar,?870?psig)
? 最大正向壓差 7?巴?(102?psid)
? 最大反向壓差 2.5?巴?(36?psid)
? 最高工作溫度 120°C?(248°F)
流量等級(jí) 參考性能數(shù)據(jù)
保修單 青銅 1年
? 銀 3年
顆粒保留 大于?99.9999999%?(9?LRV)?去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
零件號(hào)
Wafergard?MAX?在線?PTFE?氣體過(guò)濾器部件號(hào)
零件號(hào) 接頭尺寸和類型 長(zhǎng)度
WGMXMBPRF2 1/4"?公?VCR?入口，1/4"?母?VCR?出口 141.2?毫米（5.6?英寸）
WGMXMBRR2 1/4"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）
WGMXMBRR4 1/2"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）
WGMXMBSS2 1/4"?世偉洛克112.7?毫米（4.44?英寸）
WGMXMBSS3 3/8"?世偉洛克117.9?毫米?(4.64)
WGMXMBSS4 1/2"?世偉洛克118.7?毫米（4.67?英寸）
WGMXMPRR2 1/4"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）
WGMXMPRR4 1/2"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）
WGMXMPSS2 1/4"?世偉洛克112.7?毫米（4.44?英寸）
WGMXMPSS3 3/8"?世偉洛克117.9?毫米?(4.64)
WGMXMPSS4 1/2"?世偉洛克118.7?毫米（4.67?英寸）
WGMXMSBW2 1/4"?對(duì)焊管 133.4?毫米（5.25?英寸）
WGMXMSBW3 3/8"?對(duì)焊管 133.4?毫米（5.25?英寸）
WGMXMSBW4 1/2"?對(duì)焊管 133.4?毫米（5.25?英寸）
WGMXMSRR2 1/4"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）

WGMXMSRR4 1/2"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）

?

?

ENTEGRIS WGPM0GGT4 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGMXMSRR2

ENTEGRIS LGMXFPSS4

ENTEGRIS WGMXMSRR2（無(wú)包裝）

Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2

Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器

Entegris WGMXMBRR4 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGMXMSRR4 過(guò)濾器

ENTEGRIS WG3NSMSL2 過(guò)濾器

Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器

ENTEGRIS WG3NSMSL2

Entegris WG2FT1SS2 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGMXMSRR4 過(guò)濾器

Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器

ENTEGRIS WG3NS8RR2 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器

Entegris WGMXMBRR4 過(guò)濾器

ENTEGRIS WG3NS1RR2 過(guò)濾器

Entegris WG2FT1SS2 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGMXMSRR2

ENTEGRIS LGMXFPSS4

ENTEGRIS WGMXMSRR2（無(wú)包裝）

ENTEGRIS WG3NSMSL2 過(guò)濾器

ENTEGRIS WG3NSMSL2

ENTEGRIS CBUG0S0S1 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGMXMPRR4

ENTEGRIS WGMXMPSS3

ENTEGRIS WG2F02RR4

Entegris WG2FT1SS2 過(guò)濾器

ENTEGRIS WG3NSMSL2

ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2

ENTEGRIS WGPM0GGG2 過(guò)濾器

Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器

Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器

Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2

ENTEGRIS WGPM0GGT4 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPM0GGG2 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGMXMSRR4 過(guò)濾器

Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器

ENTEGRIS WG3NS8RR2 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器

Entegris WGMXMBRR4 過(guò)濾器

ENTEGRIS WG3NS1RR2 過(guò)濾器

Entegris WG2FT1SS2 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGMXMSRR2

ENTEGRIS LGMXFPSS4

ENTEGRIS WGMXMSRR2（無(wú)包裝）

ENTEGRIS WG3NSMSL2 過(guò)濾器

ENTEGRIS WG3NSMSL2

ENTEGRIS CBUG0S0S1 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGMXMPRR4

ENTEGRIS WGMXMPSS3

ENTEGRIS WG2F02RR4

Entegris WG2FT1SS2 過(guò)濾器

ENTEGRIS WG3NSMSL2

ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2

ENTEGRIS WGPM0GGG2 過(guò)濾器

Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器

Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器

Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2

ENTEGRIS WGPM0GGT4 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPM0GGG2 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGMXMSRR4 過(guò)濾器

Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器

ENTEGRIS WG3NS8RR2 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器

Entegris WGMXMBRR4 過(guò)濾器

ENTEGRIS WG3NS1RR2 過(guò)濾器

Entegris WG2FT1SS2 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGMXMSRR2

ENTEGRIS LGMXFPSS4

ENTEGRIS WGMXMSRR2（無(wú)包裝）

ENTEGRIS WG3NSMSL2 過(guò)濾器

ENTEGRIS WG3NSMSL2

ENTEGRIS CBUG0S0S1 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGMXMPRR4

ENTEGRIS WGMXMPSS3

ENTEGRIS WG2F02RR4

Entegris WG2FT1SS2 過(guò)濾器

ENTEGRIS WG3NSMSL2

ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2

ENTEGRIS WGPM0GGG2 過(guò)濾器

Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器

Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器

Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2

ENTEGRIS WGPM0GGT4 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPM0GGG2 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGMXMSRR4 過(guò)濾器

Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器

ENTEGRIS WG3NS8RR2 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGMBRR4 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器

Entegris WGMXMBRR4 過(guò)濾器

ENTEGRIS WG3NS1RR2 過(guò)濾器

Entegris WG2FT1SS2 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGMXMSRR2

ENTEGRIS LGMXFPSS4

ENTEGRIS WGMXMSRR2（無(wú)包裝）

ENTEGRIS WG3NSMSL2 過(guò)濾器

ENTEGRIS WG3NSMSL2

ENTEGRIS CBUG0S0S1 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGMXMPRR4

ENTEGRIS WGMXMPSS3

ENTEGRIS WG2F02RR4

Entegris WG2FT1SS2 過(guò)濾器

ENTEGRIS WG3NSMSL2

ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2

ENTEGRIS WGPM0GGG2 過(guò)濾器

Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器

Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器

Entegris WG2FT1RR2 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPMOGGT2

ENTEGRIS WGPM0GGT4 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGPM0GGG2 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器

ENTEGRIS WGFGT1PR1 過(guò)濾器

?

美國(guó)ENTEGRIS英特格，過(guò)濾器WGPM0GGG2，現(xiàn)貨

美國(guó)ENTEGRIS英特格，過(guò)濾器WGPM0GGG2，現(xiàn)貨

美國(guó)ENTEGRIS英特格，過(guò)濾器WGPM0GGG2，現(xiàn)貨

特種氣體

特種氣體是指稀有氣體或超高純度（99.995% 以上）的氣體。包括分析、醫(yī)藥、電子及石油化工在內(nèi)的許多行業(yè)都會(huì)受益于特種氣體的獨(dú)特性質(zhì)，它有助于提高產(chǎn)量、優(yōu)化性能以及降低成本。我們富有經(jīng)驗(yàn)的應(yīng)用團(tuán)隊(duì)遍布全球，可以根據(jù)對(duì)您的行業(yè)和應(yīng)用情況的了解，為您提供特種氣體供應(yīng)解決方案，以滿足您的獨(dú)特需求。

?

Gasketgard?在線墊片過(guò)濾器

Gasketgard?在線墊圈過(guò)濾器是一種緊湊型全金屬過(guò)濾器，可與標(biāo)準(zhǔn)?1/4"、3/8"?和?1/2"?VCR?墊圈配合使用。
合身尺寸
1/4"?1/2"?3/8"
長(zhǎng)度
25?毫米（0.98?英寸）?25.25?毫米（0.99?英寸）?29.5?毫米（1.16?英寸）
行業(yè)
半導(dǎo)體?平板顯示器?數(shù)據(jù)存儲(chǔ)?引領(lǐng)
過(guò)程
散裝氣體輸送?薄膜?沉積?干蝕刻?離子注入?光刻
Gasketgard?在線墊片過(guò)濾器

?

?Gasketgard?在線墊圈過(guò)濾器是一種緊湊型全金屬過(guò)濾器，可代替標(biāo)準(zhǔn)的?1/4"、3/8"?和?1/2"?VCR?墊圈。

保持器便于對(duì)齊
設(shè)計(jì)用于輕松插入標(biāo)準(zhǔn)氣體管線
非常適合高壓和高溫應(yīng)用
保護(hù)關(guān)鍵部件免受顆粒物損壞
在世界一流的?ISO?認(rèn)證設(shè)施中制造
應(yīng)用
Gasketgard?在線墊片過(guò)濾器應(yīng)用
用于最高?400°C?(752°F)?的應(yīng)用
用于保護(hù)敏感氣體成分
適用于高壓和高溫應(yīng)用?
產(chǎn)品規(guī)格
材料： 焊接到?316L?不銹鋼墊片上的燒結(jié)?316L?不銹鋼過(guò)濾介質(zhì) ?
? 保持器?316?不銹鋼 ?
顆粒保留： 去除所有大于?0.3?μm?直徑的顆粒超過(guò)?95% ?
運(yùn)行條件： 最大壓差 1?4”?P1:?5.1?MPa?(51?bar,?740?psid)
1?4”?P2:?10.4?MPa?(104?bar,?1508?psid)
1?2”?P1:?1.7?MPa?(17?bar,?247?psid)
1?2”?P2?:?2.9?兆帕?(29?巴,?421?psid)
? 最高工作溫度 400°C?(752°F)?[惰性氣體]
零件號(hào)
Gasketgard?在線墊片過(guò)濾器部件號(hào)
零件號(hào) 接頭尺寸和類型 長(zhǎng)度
WGPM0GGG2 1/4"?型 25.00?毫米（0.98?英寸）
WGPM0GGT2 1/4"?型帶保持器 25.25?毫米（0.99?英寸）

WGPM0GGT4 1/2"?(3/8")?型帶保持器 29.50?毫米（1.16?英寸）

?

? Gasketgard?在線墊片過(guò)濾器
Gasketgard?在線墊圈過(guò)濾器是一種緊湊型全金屬過(guò)濾器，可與標(biāo)準(zhǔn)?1/4"、3/8"?和?1/2"?VCR?墊圈配合使用。
合身尺寸
1/4"?1/2"?3/8"
長(zhǎng)度
25?毫米（0.98?英寸）?25.25?毫米（0.99?英寸）?29.5?毫米（1.16?英寸）
行業(yè)
半導(dǎo)體?平板顯示器?數(shù)據(jù)存儲(chǔ)?引領(lǐng)
過(guò)程
散裝氣體輸送?薄膜?沉積?干蝕刻?離子注入?光刻
Gasketgard?在線墊片過(guò)濾器
??

?Gasketgard?在線墊圈過(guò)濾器是一種緊湊型全金屬過(guò)濾器，可代替標(biāo)準(zhǔn)的?1/4"、3/8"?和?1/2"?VCR?墊圈。

保持器便于對(duì)齊
設(shè)計(jì)用于輕松插入標(biāo)準(zhǔn)氣體管線
非常適合高壓和高溫應(yīng)用
保護(hù)關(guān)鍵部件免受顆粒物損壞
在世界一流的?ISO?認(rèn)證設(shè)施中制造
應(yīng)用
Gasketgard?在線墊片過(guò)濾器應(yīng)用
用于最高?400°C?(752°F)?的應(yīng)用
用于保護(hù)敏感氣體成分
適用于高壓和高溫應(yīng)用?
產(chǎn)品規(guī)格
材料： 焊接到?316L?不銹鋼墊片上的燒結(jié)?316L?不銹鋼過(guò)濾介質(zhì) ?
? 保持器?316?不銹鋼 ?
顆粒保留： 去除所有大于?0.3?μm?直徑的顆粒超過(guò)?95% ?
運(yùn)行條件： 最大壓差 1?4”?P1:?5.1?MPa?(51?bar,?740?psid)
1?4”?P2:?10.4?MPa?(104?bar,?1508?psid)
1?2”?P1:?1.7?MPa?(17?bar,?247?psid)
1?2”?P2?:?2.9?兆帕?(29?巴,?421?psid)
? 最高工作溫度 400°C?(752°F)?[惰性氣體]
零件號(hào)
Gasketgard?在線墊片過(guò)濾器部件號(hào)
零件號(hào) 接頭尺寸和類型 長(zhǎng)度
WGPM0GGG2 1/4"?型 25.00?毫米（0.98?英寸）
WGPM0GGT2 1/4"?型帶保持器 25.25?毫米（0.99?英寸）
WGPM0GGT4 1/2"?(3/8")?型帶保持器 29.50?毫米（1.16?英寸）
??

?

ENTEGRISWGPMOGGT21.00

ENTEGRISWGFGT1PR12.00過(guò)濾器

ENTEGRISWGPM0GGG210.00過(guò)濾器

EntegrisWG2FT1SS23.00過(guò)濾器

EntegrisWG2FT1SS22.00過(guò)濾器

ENTEGRISWGMXMSRR41.00過(guò)濾器

ENTEGRISWGMXMSRR22.00

EntegrisWG2FT1RR22.00過(guò)濾器

EntegrisWG2FT1RR21.00過(guò)濾器

EntegrisWG2FT1RR210.00過(guò)濾器

EntegrisWG2FT1RR210.00過(guò)濾器

ENTEGRISWGMXMSRR2（無(wú)包裝）2.00

ENTEGRISWG3NSMSL22.00過(guò)濾器

ENTEGRISWG3NSMSL22.00

ENTEGRISWG3NSMSL24.00

ENTEGRISCBUG0S0S12.00過(guò)濾器

ENTEGRISWG3NS8RR21.00過(guò)濾器

ENTEGRISWGMXMPRR42.00

ENTEGRISWGMXMPSS32.00

ENTEGRISWG2F02RR42.00

ENTEGRISWGFGT1PR130.00過(guò)濾器

ENTEGRISWGFGT1PR145.00過(guò)濾器

ENTEGRISWGPM0GGT43.00過(guò)濾器

ENTEGRISWGPM0GGG229.00過(guò)濾器

ENTEGRISWG2F02RR21.00

ENTEGRISWGFG21KP01.00過(guò)濾器

ENTEGRISWGFGMBRR21.00過(guò)濾器

?

ENTEGRISWGPMOGGT2

ENTEGRISWGFGT1PR1過(guò)濾器

ENTEGRISWGPM0GGG2過(guò)濾器

ENTEGRISWG3NS1RR2過(guò)濾器

EntegrisWG2FT1SS2過(guò)濾器

EntegrisWG2FT1SS2過(guò)濾器

ENTEGRISWGMXMSRR4過(guò)濾器

ENTEGRISWGMXMSRR2

EntegrisWG2FT1RR2過(guò)濾器

EntegrisWG2FT1RR2過(guò)濾器

EntegrisWG2FT1RR2過(guò)濾器

EntegrisWG2FT1RR2過(guò)濾器

ENTEGRISWGMXMSRR2（無(wú)包裝）

ENTEGRISWG3NSMSL2過(guò)濾器

ENTEGRISWG3NSMSL2

ENTEGRISWG3NSMSL2

ENTEGRISCBUG0S0S1過(guò)濾器

ENTEGRISWG3NS8RR2過(guò)濾器

ENTEGRISWGMXMPRR4

ENTEGRISWGMXMPSS3

ENTEGRISWG2F02RR4

ENTEGRISWGFGT1PR1過(guò)濾器

ENTEGRISWGPMOGGT2

ENTEGRISWGFGMBRR4過(guò)濾器

ENTEGRISWGFGMBRR4過(guò)濾器

ENTEGRISWGFGT1PR1過(guò)濾器

ENTEGRISWGFGT1PR1過(guò)濾器

ENTEGRISWGPM0GGT4過(guò)濾器

ENTEGRISWGPM0GGG2過(guò)濾器

ENTEGRISLGMXFPRR4

ENTEGRISWGFA21KP0過(guò)濾器

ENTEGRISWGPMOGGT2

ENTEGRISWGFGT1PR1過(guò)濾器

ENTEGRISWGPM0GGG2過(guò)濾器

ENTEGRISWG3NS1RR2過(guò)濾器

EntegrisWG2FT1SS2過(guò)濾器

EntegrisWG2FT1SS2過(guò)濾器

ENTEGRISWGMXMSRR4過(guò)濾器

ENTEGRISWGMXMSRR2

EntegrisWG2FT1RR2過(guò)濾器

EntegrisWG2FT1RR2過(guò)濾器

EntegrisWG2FT1RR2過(guò)濾器

EntegrisWG2FT1RR2過(guò)濾器

ENTEGRISWGMXMSRR2（無(wú)包裝）

ENTEGRISWG3NSMSL2過(guò)濾器

ENTEGRISWG3NSMSL2

ENTEGRISWG3NSMSL2

ENTEGRISCBUG0S0S1過(guò)濾器

ENTEGRISWG3NS8RR2過(guò)濾器

ENTEGRISWGMXMPRR4

ENTEGRISWGMXMPSS3

ENTEGRISWG2F02RR4

ENTEGRISWGFGT1PR1過(guò)濾器

ENTEGRISWGPMOGGT2

ENTEGRISWGFGMBRR4過(guò)濾器

ENTEGRISWGFGMBRR4過(guò)濾器

ENTEGRISWGFGT1PR1過(guò)濾器

ENTEGRISWGFGT1PR1過(guò)濾器

ENTEGRISWGPM0GGT4過(guò)濾器

ENTEGRISWGPM0GGG2過(guò)濾器

ENTEGRISLGMXFPRR4

ENTEGRISWGFA21KP0過(guò)濾器

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