Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器，WGMXMPRR4型號30個(gè)
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器，WGMXMPRR4型號30個(gè)
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器，WGMXMPRR4型號30個(gè)
這些在線?PTFE?氣體過濾器與高純度氣體兼容，并在?超純氣體應(yīng)用?以及?一般氮?dú)夂?CDA?應(yīng)用中提供卓越的顆粒過濾。
PTFE?濾芯在超純應(yīng)用中表現(xiàn)出色?
專為高流量和低增量壓力應(yīng)用而設(shè)計(jì)?
用于惰性和反應(yīng)性氣體，包括臭氧?
為快速啟動(dòng)而預(yù)先調(diào)節(jié)（僅限銀色）?
應(yīng)用
Wafergard
?MAX?在線?PTFE?氣體過濾器應(yīng)用
兼容所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體
與一般氮?dú)夂?CDA?應(yīng)用兼容
產(chǎn)品規(guī)格
材料 濾芯 由模壓?PFA?結(jié)構(gòu)支撐的疏水?PTFE?膜
? 住房 電拋光低硫?316L?不銹鋼外殼
下游清潔度 粒子 小于?0.03?個(gè)顆粒/升?(<1?個(gè)顆粒/ft?3?)?大于?0.01?μm
? 揮發(fā)物（銀） <10?ppb?H?2?O?和?O?2。低于?LDL?THC（檢測下限為?5?ppb）
移除等級 ≥0.0015?微米
表面處理內(nèi)部 WGMX（青銅）MB?XXXX ≤20?μin?Ra
? WGMX（銀/青銅加）MS?XXX/XXX ≤7?μin?Ra
氦泄漏等級 合格的 2?x?10?-10?atm-cc/秒
? 經(jīng)過測試 1?x?10?-9?atm-cc/秒
運(yùn)行條件
? 最大入口壓力
? Silver?和?Bronze?Plus?1?4"?和?1?2"?VCR?兼容接頭：7.0?MPa?(70?bar,?1015?psig)
? ? 青銅?1?4"?和?1?2"?VCR?兼容接頭：6.0?MPa?(60?bar,?870?psig)
? ? Bronze?和?Bronze?Plus?1?4"、3?8"?和?1?2"?Swagelok?兼容接頭：6.0?MPa?(60?bar,?870?psig)
? 最大正向壓差 7?巴?(102?psid)
? 最大反向壓差 2.5?巴?(36?psid)
? 最高工作溫度 120°C?(248°F)
流量等級 參考性能數(shù)據(jù)
保修單 青銅 1年
? 銀 3年
顆粒保留 大于?99.9999999%?(9?LRV)?去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
零件號
Wafergard?MAX?在線?PTFE?氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGMXMBPRF2 1/4"?公?VCR?入口，1/4"?母?VCR?出口 141.2?毫米（5.6?英寸）
WGMXMBRR2 1/4"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）
WGMXMBRR4 1/2"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）
WGMXMBSS2 1/4"?世偉洛克112.7?毫米（4.44?英寸）
WGMXMBSS3 3/8"?世偉洛克117.9?毫米?(4.64)
WGMXMBSS4 1/2"?世偉洛克118.7?毫米（4.67?英寸）
WGMXMPRR2 1/4"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）
WGMXMPRR4 1/2"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）
WGMXMPSS2 1/4"?世偉洛克112.7?毫米（4.44?英寸）
WGMXMPSS3 3/8"?世偉洛克117.9?毫米?(4.64)
WGMXMPSS4 1/2"?世偉洛克118.7?毫米（4.67?英寸）
WGMXMSBW2 1/4"?對焊管 133.4?毫米（5.25?英寸）
WGMXMSBW3 3/8"?對焊管 133.4?毫米（5.25?英寸）
WGMXMSBW4 1/2"?對焊管 133.4?毫米（5.25?英寸）
WGMXMSRR2 1/4"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）
WGMXMSRR4 1/2"?公?VCR127?毫米（5.00?英寸）
?
?
ENTEGRIS WGPM0GGT4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR2
ENTEGRIS LGMXFPSS4
ENTEGRIS WGMXMSRR2（無包裝）
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
Entegris WGMXMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 過濾器
ENTEGRIS WGMXMSRR4 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 過濾器
ENTEGRIS WG3NSMSL2
Entegris WG2FT1SS2 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 過濾器
?
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS XX67000WH 12232 過濾器
ENTEGRIS WGGB01KAN 12231 氣體過濾器
ENTEGRIS WGFG01KL0 12230 過濾器
Entegris WGFGT1PR1 12027 過濾器
Entegris WGFGMBRR4 12026
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯
Entegris WGMXMBRR4 15235 過濾器
Entegris WGFG02PR1 15957 過濾器
Entegris WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 氣動(dòng)閥
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過濾器
Entegris WGPM0GGT4 12028 過濾器
Entegris WG2SS8RR2 16378 過濾器
Entegris WG3NS6RR2 16379 過濾器
ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 16417 閥
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過濾器
ENTEGRIS XX67000WH 12232 過濾器
ENTEGRIS WGGB01KAN 12231 過濾器
ENTEGRIS WGFG01KL0 12230 過濾器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過濾器
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 偵測器
Entegris WG2SS8RR2 16378 過濾器
Entegris WG3NS6RR2 16379 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 17377 過濾器
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS YY260103N 17526 過濾器
Entegris CR4-2C-6F-3 17668 氣動(dòng)閥
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 17868 過濾器
ENTEGRIS WGFG01DS0（一包十個(gè)） 17994 濾芯
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS ?CTFV01P01KPW 18139 濾芯
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 13085331 18609 氣動(dòng)閥
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過濾器
Entegris CWFV0S1S3 19143 濾芯
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過濾器
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 氣動(dòng)閥
ENTEGRIS WGMXMSRR4 19876 過濾器
ENTEGRIS CN2501E6 19924 濾芯
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
Entegris WGPM0GGG2 13134 過濾器
entegris WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WG2SS8RR2 16378 過濾器
ENTEGRIS CN2501E6 19924 濾芯
Entegris SVTH01TQ1 20007 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS CN2501E06 19921 濾芯
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFG50PR1 20215 過濾器
ENTEGRIS WGFG01DSH 20395 過濾器
ENTEGRIS PLMV-K12 20499 閥
ENTEGRIS PLMV-K04 20460 閥
ENTEGRIS PLMV-K16 20461 閥
ENTEGRIS PLPV-K04 20463 閥
ENTEGRIS PLPV-K08 20464 閥
ENTEGRIS PLPV-K12 20500 閥
ENTEGRIS PLPV-K16 20465 閥
ENTEGRIS WG2F02RR2 20483
ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 16417 氣動(dòng)閥
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
Entegris YY5032PS1 20649 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGMXMBRR2 20616
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
entegris WGFGT1PR1 12027 過濾器
Entegris YY5032PS1 20649
Entegris WGFG21KP0 20840
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFG01DS0 21000 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
Entegris WGFG21KP0 20840
Entegris WG2SS8RR2 16378 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS WG2F15HJJ6 21344 濾芯
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG? WG3NS6RR2 21440 過濾器
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFG50PR1 20215 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS XX67000WH 12232 過濾器
ENTEGRIS WGGB01KAN 12231 氣體過濾器
ENTEGRIS WGFG01KL0 12230 過濾器
Entegris WGFGT1PR1 12027 過濾器
Entegris WGFGMBRR4 12026
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯
Entegris WGMXMBRR4 15235 過濾器
Entegris WGFG02PR1 15957 過濾器
Entegris WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 氣動(dòng)閥
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過濾器
Entegris WGPM0GGT4 12028 過濾器
Entegris WG2SS8RR2 16378 過濾器
Entegris WG3NS6RR2 16379 過濾器
ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 16417 閥
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過濾器
ENTEGRIS XX67000WH 12232 過濾器
ENTEGRIS WGGB01KAN 12231 過濾器
ENTEGRIS WGFG01KL0 12230 過濾器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過濾器
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 偵測器
Entegris WG2SS8RR2 16378 過濾器
Entegris WG3NS6RR2 16379 過濾器
ENTEGRIS WG3NS1RR2 17377 過濾器
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS YY260103N 17526 過濾器
Entegris CR4-2C-6F-3 17668 氣動(dòng)閥
ENTEGRIS WGPMOGGT4 16351 過濾器
Entegris WG2FT1SS2 17868 過濾器
ENTEGRIS WGFG01DS0（一包十個(gè)） 17994 濾芯
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS ?CTFV01P01KPW 18139 濾芯
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 13085331 18609 氣動(dòng)閥
ENTEGRIS WG3NS2RR4 17378 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過濾器
Entegris CWFV0S1S3 19143 濾芯
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGMXMBRR4 15235 過濾器
ENTEGRIS DS12-2C-16F-3 16071 氣動(dòng)閥
ENTEGRIS WGMXMSRR4 19876 過濾器
ENTEGRIS CN2501E6 19924 濾芯
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
Entegris WGPM0GGG2 13134 過濾器
entegris WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WG2SS8RR2 16378 過濾器
ENTEGRIS CN2501E6 19924 濾芯
Entegris SVTH01TQ1 20007 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS CN2501E06 19921 濾芯
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFG50PR1 20215 過濾器
ENTEGRIS WGFG01DSH 20395 過濾器
ENTEGRIS PLMV-K12 20499 閥
ENTEGRIS PLMV-K04 20460 閥
ENTEGRIS PLMV-K16 20461 閥
ENTEGRIS PLPV-K04 20463 閥
ENTEGRIS PLPV-K08 20464 閥
ENTEGRIS PLPV-K12 20500 閥
ENTEGRIS PLPV-K16 20465 閥
ENTEGRIS WG2F02RR2 20483
ENTEGRIS CR8-2CT-12FF-3 16417 氣動(dòng)閥
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
Entegris YY5032PS1 20649 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGMXMBRR2 20616
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
entegris WGFGT1PR1 12027 過濾器
Entegris YY5032PS1 20649
Entegris WGFG21KP0 20840
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFG01DS0 21000 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
Entegris WGFG21KP0 20840
Entegris WG2SS8RR2 16378 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS WG2F15HJJ6 21344 濾芯
ENTEGRIS LGMXFPRR4 21160
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
Entegris WFRGD3 NF-30 3.3 IN LG? WG3NS6RR2 21440 過濾器
ENTEGRIS YY260103P 14381 濾殼
ENTEGRIS PN2H010E1 14380 濾芯
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
ENTEGRIS WGFG50PR1 20215 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGFGMBRR4 12026 過濾器
Entegris WG2FT1RR2 20415 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGG2 13134 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700 過濾器
ENTEGRIS WGPM0GGT4 12028 過濾器
ENTEGRIS WGFGT1PR1 12027 過濾器
ENTEGRIS WGPMOGGT2 11700
?
美國ENTEGRIS應(yīng)特格，WG3NS8RR2現(xiàn)貨，Wafergard? III NF Micro XL 在線氣
體過濾器
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現(xiàn)貨
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現(xiàn)貨
美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現(xiàn)貨
?為超純氣體系統(tǒng)過濾提供卓越的微粒過濾，是高溫和動(dòng)態(tài)壓力應(yīng)用的理想選擇。
最先進(jìn)的外殼組件通過最小化焊接區(qū)域來消除除氣
全金屬結(jié)構(gòu)是高溫和動(dòng)態(tài)壓力應(yīng)用的理想選擇
緊湊的尺寸和靈活的配件選擇提供了最高的設(shè)計(jì)效率并最大限度地降低了工程成本
應(yīng)用
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過濾器應(yīng)用
超純氣體管線
高溫應(yīng)用
新工廠建設(shè)
動(dòng)壓應(yīng)用
惰性和活性氣體
產(chǎn)品規(guī)格
材料 濾芯 燒結(jié)鎳膜過濾器
? 住房 電拋光 VAR316L 不銹鋼外殼
下游清潔度 粒子 <0.03 顆粒/升（<1 顆粒/ft 3） >0.01 μm
? 揮發(fā)物 Volatile outgassing of H2O, O2, and THC is below detectable limits
(by RGA and FID at room temperature)
Removal rating ≥0.0015 μm
Surface finsh interior ≤5 μin Ra
Helium leak rating Qualified 2 × 10-10 atm-ccc.
? Tested 1 × 10-9 atm-ccc.
Maximum operating conditions: Maximum inlet pressure 20 MPa (200 bar,
2900 psid) at 20°C (68oF)
? Design pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
? Maximum forward/reverse differential pressure 1 MPa (10 bar, 150 psid)
? Maximum operating temperature Inert gases 400°C (725°F) @ 35 bar (500
psi)
? ? Corrosive and reactive gases 50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
Warranty 5 year
Particle retention Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles
at 15 slpm
Flow rating Refer to performance data
?零件號
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
.特種氣體
特種氣體是指稀有氣體或超高純度（99.995% 以上）的氣體。包括分析、醫(yī)藥、電
子及石油化工在內(nèi)的許多行業(yè)都會(huì)受益于特種氣體的獨(dú)特性質(zhì)，它有助于提高產(chǎn)量
、優(yōu)化性能以及降低成本。我們富有經(jīng)驗(yàn)的應(yīng)用團(tuán)隊(duì)遍布全球，可以根據(jù)對您的行
業(yè)和應(yīng)用情況的了解，為您提供特種氣體供應(yīng)解決方案，以滿足您的獨(dú)特需求。
Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可與標(biāo)準(zhǔn) 1/4"、3/8" 和
1/2" VCR 墊圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行業(yè)
半導(dǎo)體 平板顯示器 數(shù)據(jù)存儲(chǔ) 引領(lǐng)
過程
散裝氣體輸送 薄膜 沉積 干蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在線墊片過濾器
??
WG3NS8RR2 1/4" 墊圈密封件（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1 毫米
（3.31"）
WG3NS8RR2P 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口，接頭用塑料
蓋代替金屬蓋保護(hù) 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8SL2 1/4" 密封墊圈（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口，短型 50.8 毫
米（2.00"）?
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器
這些在線 PTFE 氣體過濾器與高純度氣體兼容，并在 超純氣體應(yīng)用 以及 一般氮?dú)夂?br />
CDA 應(yīng)用中提供卓越的顆粒過濾。
PTFE 濾芯在超純應(yīng)用中表現(xiàn)出色?
專為高流量和低增量壓力應(yīng)用而設(shè)計(jì)?
用于惰性和反應(yīng)性氣體，包括臭氧?
為快速啟動(dòng)而預(yù)先調(diào)節(jié)（僅限銀色）?
應(yīng)用
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器應(yīng)用
兼容所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體
與一般氮?dú)夂?CDA 應(yīng)用兼容
產(chǎn)品規(guī)格
材料 濾芯 由模壓 PFA 結(jié)構(gòu)支撐的疏水 PTFE 膜
? 住房 電拋光低硫 316L 不銹鋼外殼
下游清潔度 粒子 小于 0.03 個(gè)顆粒/升 (<1 個(gè)顆粒/ft 3 ) 大于 0.01 μm
? 揮發(fā)物（銀） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低于 LDL THC（檢測下限為 5 ppb）
移除等級 ≥0.0015 微米
表面處理內(nèi)部 WGMX（青銅）MB XXXX ≤20 μin Ra
? WGMX（銀/青銅加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等級 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
? 經(jīng)過測試 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運(yùn)行條件
? 最大入口壓力
? Silver 和 Bronze Plus 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
? ? 青銅 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
? ? Bronze 和 Bronze Plus 1?4"、3?8" 和 1?2" Swagelok 兼容接頭：6.0 MPa (60
bar, 870 psig)
? 最大正向壓差 7 巴 (102 psid)
? 最大反向壓差 2.5 巴 (36 psid)
? 最高工作溫度 120°C (248°F)
流量等級 參考性能數(shù)據(jù)
保修單 青銅 1年
? 銀 3年
顆粒保留 大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
零件號
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
ENTEGRIS?? ??? ?WGPM0GGT4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMSRR2?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?LGMXFPSS4?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMSRR2（無包裝）?? ?
Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGPMOGGT2?? ?
Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WGMXMBRR4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMSRR4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NSMSL2?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NSMSL2?? ?
Entegris?? ??? ?WG2FT1SS2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMSRR4?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NS8RR2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WGMXMBRR4?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NS1RR2?? ?過濾器
Entegris?? ??? ?WG2FT1SS2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMSRR2?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?LGMXFPSS4?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMSRR2（無包裝）?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NSMSL2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NSMSL2?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?CBUG0S0S1?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMPRR4?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMPSS3?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WG2F02RR4?? ?
Entegris?? ??? ?WG2FT1SS2?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WG3NSMSL2?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過濾器
ENTEGRIS?? ??? ?WGPMOGGT2?? ?
ENTEGRIS?? ??? ?WGPM0GGG2?? ?過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可代替標(biāo)準(zhǔn)的 1/4"、
3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保持器便于對齊
設(shè)計(jì)用于輕松插入標(biāo)準(zhǔn)氣體管線
非常適合高壓和高溫應(yīng)用
保護(hù)關(guān)鍵部件免受顆粒物損壞
在世界一流的 ISO 認(rèn)證設(shè)施中制造
應(yīng)用
Gasketgard 在線墊片過濾器應(yīng)用
用于最高 400°C (752°F) 的應(yīng)用
用于保護(hù)敏感氣體成分
適用于高壓和高溫應(yīng)用?
產(chǎn)品規(guī)格
材料： 焊接到 316L 不銹鋼墊片上的燒結(jié) 316L 不銹鋼過濾介質(zhì) ?
? 保持器 316 不銹鋼 ?
顆粒保留： 去除所有大于 0.3 μm 直徑的顆粒超過 95% ?
運(yùn)行條件： 最大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
? 最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號
Gasketgard 在線墊片過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
? Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可與標(biāo)準(zhǔn) 1/4"、3/8" 和
1/2" VCR 墊圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行業(yè)
半導(dǎo)體 平板顯示器 數(shù)據(jù)存儲(chǔ) 引領(lǐng)
過程
散裝氣體輸送 薄膜 沉積 干蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在線墊片過濾器
??
?Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可代替標(biāo)準(zhǔn)的 1/4"、
3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。
保持器便于對齊
設(shè)計(jì)用于輕松插入標(biāo)準(zhǔn)氣體管線
非常適合高壓和高溫應(yīng)用
保護(hù)關(guān)鍵部件免受顆粒物損壞
在世界一流的 ISO 認(rèn)證設(shè)施中制造
應(yīng)用
Gasketgard 在線墊片過濾器應(yīng)用
用于最高 400°C (752°F) 的應(yīng)用
用于保護(hù)敏感氣體成分
適用于高壓和高溫應(yīng)用?
產(chǎn)品規(guī)格
材料： 焊接到 316L 不銹鋼墊片上的燒結(jié) 316L 不銹鋼過濾介質(zhì) ?
? 保持器 316 不銹鋼 ?
顆粒保留： 去除所有大于 0.3 μm 直徑的顆粒超過 95% ?
運(yùn)行條件： 最大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
? 最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號
Gasketgard 在線墊片過濾器部件號
零件號 接頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
??
ENTEGRISWGPMOGGT21.00
ENTEGRISWGFGT1PR12.00過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG210.00過濾器
EntegrisWG2FT1SS23.00過濾器
EntegrisWG2FT1SS22.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR41.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR22.00
EntegrisWG2FT1RR22.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR21.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器
EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）2.00
ENTEGRISWG3NSMSL22.00過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL22.00
ENTEGRISWG3NSMSL24.00
ENTEGRISCBUG0S0S12.00過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR21.00過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR42.00
ENTEGRISWGMXMPSS32.00
ENTEGRISWG2F02RR42.00
ENTEGRISWGFGT1PR130.00過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISWG3NS1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
EntegrisWG2FT1SS2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR4過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
EntegrisWG2FT1RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMSRR2（無包裝）
ENTEGRISWG3NSMSL2過濾器
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISWG3NSMSL2
ENTEGRISCBUG0S0S1過濾器
ENTEGRISWG3NS8RR2過濾器
ENTEGRISWGMXMPRR4
ENTEGRISWGMXMPSS3
ENTEGRISWG2F02RR4
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPMOGGT2
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGMBRR4過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGFGT1PR1過濾器
ENTEGRISWGPM0GGT4過濾器
ENTEGRISWGPM0GGG2過濾器
ENTEGRISLGMXFPRR4
ENTEGRISWGFA21KP0過濾器
CN3HF2E06，CN3HF3E06，CN3HF4E06，CN3HM4E06，CN5001E06，
CN5001ES1，CN5001EZ6，CN5001T06，CN5001V06，CN5002E06，
CN5002ES1，CN5003E06，CN5003ES1，CN5003T06，CN5003V06，
CN5051E06，CN5051T06，CN5071E06，CN5071S06，CN5071T06，
CN5072E06，CN5072V06，CN5073E06，CN5073T06，CN5073V06，
CN5074T06，CN5074V06，CN50F1E06，CN50F1ES1，CN50F2E06，
CN50F3E06，CN50F3ES1，CN50F4E06，CN50M4E06，CN50M4S06，
CN50M4T06，CN50M4V06，CN6HF4E06，CR0101006，CR0101E06，
CR0101T06，CR0101V06，CR0102006，CR0102T06，CR0102V06，CR0103006
，CR0103T06，CR0104006，CR0104V06，CR0151006，CR0152006，
CR0153006，CR0153T06，CR0153V06，CR0154006，CR0154T06，CR0154V06
，CR0171006，CR0171E06，CR0171T06，CR0172006，CR0172E06，
CR0172T06，CR0173006，CR0173E06，CR0173T06，CR0174006，CR0174E06
，CR01F1006，CR01F1P06，CR01F2006，CR01F2C06，CR01F2P06，
CR01F3006，CR01F3P06，CR01F3V06，CR01F4006，CR01F4P06，
CR01M0203，CR0301006，CR0301E06，CR0301T06，CR0302006，CR0303006
，CR0351006，CR0354V06，CR0371006，CR0371E06，CR0372006，
CR0372E06，CR0373006，CR0373T06，CR0374006，CR03F1006，CR03F1P06
，CR03F2006，CR03F2P06，CR03F3006，CR03F3P06，CR03F4006，
CR03F4P06，CR03M0203，CR0501006，CR0501E06，CR0501T06，
CR0501V06，CR0502006，CR0503006，CR0503V06，CR0504006，CR0504E06
，CR0552006，CR0553006，CR0554V06，CR0571006，CR0571E06，
CR0571T06，CR0572006，CR0572T06，CR0573006，CR0573E06，CR0573T06
，CR0574006，CR05F1006，CR05F1P06，CR05F2006，CR05F2P06，
CR05F2V06，CR05F3006，CR05F3P06，CR05F4006，CR05F4P06，
CR05M0203，
CR1001006，CR1001T06，CR1002006，CR1002T06，CR1002V06，CR1003006
，CR1003V06，CR1004006，CR1053006，CR1054V06，CR1071006，
CR1071E06，CR1071T06，CR1072006，CR1072T06，CR1072V06，CR1073006
，CR1073T06，CR1073V06，CR1074006，CR10F1006，CR10F1P06，
CR10F1T06，CR10F2006，CR10F2C06，CR10F2P06，CR10F3006，CR10F3P06
，CR10F4006，CR10F4P06，CR10M0203，CR2501006，CR2501T06，
CR2501V06，CR2502006，CR2503006，CR2553V06，CR2571006，CR2571T06
，CR2572006，CR2572E06，CR2572T06，CR2573006，CR2573V06，
CR2574006，CR25F1006，CR25F1P06，CR25F2006，CR25F2P06，CR25F3006
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CR5001T06，CR5001V06，CR5002006，CR5003006，CR5071006，CR5072006
，CR5073006，CR50F1006，CR50F2006，CR50F3006，CR50F4006，
CR50M0203，CR7501006，CR7502006，CR7503006，CR7571006，CR7572006
，CR7573006，CR75F1006，CR75F1P06，CR75F2006，CR75F3006，
CR75F4006，CR75M0203，CR9901006，CR9902006，CR9903006，CR9951006
，CR9971006，CR9971T06，CR9971V06，CR9972006，CR9973006，
CR99F1006，CR99F2006，CR99F3006，CR99F3P06，CR99F4006，
CR99M0203，CRA501006，CRA501T06，CRA501V06，CRA502006，
CRA502T06，CRA503006，CRA503T06，CRA504006，CRA551006，
CRA552006，CRA553006，CRA554V06，CRA571006，CRA572006，
CRA573006，CRA573E06，CRA573T06，CRA573V06，CRA574006，
CRA5F1006，CRA5F1C06，CRA5F1P06，CRA5F2006，CRA5F2C06，
CRA5F2P06，CRA5F3006，CRA5F3P06，CRA5F4006，CRA5F4P06，
CRA5M0203，CFDVUPXSF，CFDZUPXSF
，、
CPUV01P01，CPUV01PLT，CPUV0SP01，CPUZ01P01，CPUZ01PLT，
CPUZ0SP01，CTDAATXTW，CTDGATXLH，CTDGATXST，CTDGATXTH，
CTDGATXTT，CTDGATXTW，CTDVATXLH，CTDVATXST，CTDVATXTH，
CTDVATXTT，CTDZATXLH，CTDZATXST，CTDZATXTH，CTDZATXTT，
CTFA01P01，CTFA01PTF，CTFA01TPE，CTFA02P01，CTFA02TPE，
CTFA0SP01，CTFA0SPSF，CTFA0STPE，CTFG01P01，CTFG01PSF，
CTFG01PT1，CTFG01PTF，CTFG01TC1，CTFG01TK1，CTFG01TPE，
CTFG02P01，CTFG02TPE，CTFG03TPE，CTFG0SP01，CTFG0SPSF，
CTFG0SPTF，CTFG0STPE，CTFH01PTF，CTFH01TPE，CTFH02TPE，
CTFH03TPE，CTFH0STPE，CTFV01P01，CTFV01PSF
，CTFV01PT1，CTFV01PTF，CTFV01TC1，CTFV01TK1，CTFV01TPE，
CTFV02P01，CTFV02TPE，CTFV03TPE，CTFV0SP01，CTFV0SPSF，
CTFV0SPTF，CTFV0STPE，CTFZ01P01，CTFZ01PT1，CTFZ01PTF，
CTFZ01TC1，CTFZ01TK1，CTFZ01TPE，CTFZ02P01，CTFZ02TPE，CTFZ03TPE
，CTFZ0SP01，CTFZ0SPTF，CTFZ0STPE，CTPR01TP1，EGDVHPX0F，
EGDVHPX0S，EGDVHPX2F，EGDVHPX2S，EGDVHPXTH，EGDZHPX0F，
EGDZHPX0S，EGDZHPX2F，EGDZHPX2S，EGDZHPXTH，EPFVHPSST，
EPFVHPXTW，GDCG01P01，GDCG01TK1，GDCG01TPE，GDCG02P01，
GDCG0SP01，GDCG0SPC1，GDCG0SPK1，GDCV01P01，GDCV01TK1，
GDCV01TPE，GDCV02P01，GDCV0SP01，GDCV0SPC1，GDCV0SPK1，
GDCZ01P01，GDCZ01TK1，GDCZ01TPE，GDCZ02P01，GDCZ0SP01，
GDCZ0SPC1，GDCZ0SPK1，GDDGATSST，GDDGATSTH，GDDGATSTT，
GDDGATX0F，GDDGATX1F，GDDGATX2F，GDDGATX4F，GDDGATXST，
GDDGATXTH，GDDGATXTT，GDDGHPX0F，GDDGHPX0S，GDDGHPX2F，
GDDGHPX2S，GDDVATSST，GDDVATSTH，GDDVATSTT，GDDVATX0F，
GDDVATX1F，GDDVATX2F，GDDVATX4F，GDDVATXST，GDDVATXTH，
GDDVATXTT，GDDVDEV0F，GDDVDEV1F，GDDVD GDDVDEV4F，
GDDVHPX0F，GDDVHPX0S，GDDVHPX2F，GDDVHPX2S，GDDZATSST，
GDDZATSTH，GDDZATSTT，GDDZATX0F，GDDZATX1F，GDDZATX2F，
GDDZATX4F，GDDZATXST，GDDZATXTH，GDDZATXTT，GDDZDEV0F，
GDDZDEV1F，GDDZ GDDZDEV4F，GDDZHPX0F，GDDZHPX1S，
GDDZHPX2F，GDDZHPX2S，GHPG01P01，GHPG01PLT，GHPG02P01，
GHPG02PLT，GHPG0SP01，GHPV01P01，GHPV01PLT，GHPV02P01，
GHPV02PLT，GHPV0SP01，GHPZ01P01，GHPZ01PLT，GHPZ02P01，
GHPZ02PLT，GHPZ0SP01，PFFG01P4F，PFFG01P4P，PFFG01P6P，
PFFG03D4S，PFFV01P4F，PFFV01P4P，PFFV01P6P，PFFV03D4S，
PFFZ01P4F，PFFZ01P4P，PFFZ01P6P，PFFZ03D4S，QCCGAT101，
QCCGAT1C1，QCCGAT1K1，QCCGATX01，QCCGPF401，QCCGPF801，
QCCGSTX01，QCCVAT101，QCCVAT1C1，QCCVAT1K1，QCCVATX01，
QCCVATXC1，QCCVATXK1，QCCVPF401，QCCVPF4C1，QCCVPF4K1，
QCCVPF801，QCCVPF8C1，QCCVPF8K1，QCCVSTX01，QCCVSTXC1，
QCCVSTXK1，QCCZAT101，QCCZAT1K1，QCCZATX01，QCCZATXC1，
QCCZATXK1，QCCZPF401，QCCZPF801，QCCZSTX01，QCDG15P3F，
QCDG15P8P，QCDG30P2P，QCDG30P3F，QCDG30P8P，QCDGATX0F，
QCDGATX1F，QCDGATX2F，QCDGATXLH，QCDGATXTF，QCDGATXTH，
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QCDGPF81F，QCDGPF82F，QCDGPF8LH，QCDGPF8TH，QCDGSTX0F，
QCDGSTX1F，QCDGSTX2F，QCDGSTXLH，QCDGSTXTF，QCDGSTXTH，
QCDGSTXTW，QCDV15P3F，QCDV15P8P，QCDV30P2P，QCDV30P3F，
QCDV30P8P，QCDVATX0F，QCDVATX1F，QCDVATX2F，QCDVATXLH，
QCDVATXTF，QCDVATXTH，QCDVATXTW，QCDVPF40F，QCDVPF41F，
QCDVPF42F，QCDVPF80F，QCDVPF81F，QCDVPF82F，QCDVPF8LH，
QCDVPF8TH，QCDVSTX0F，QCDVSTX1F，QCDVSTX2F，QCDVSTXLH，
QCDVSTXTF，QCDVSTXTH，QCDVSTXTW，QCDZ15P3F，QCDZ15P8P，
QCDZ30P2P，QCDZ30P3F，QCDZ30P8P，QCDZATX0F，QCDZATX1F，
QCDZATX2F，QCDZATXLH，QCDZATXTF，QCDZATXTH，QCDZATXTW，
QCDZPF40F，QCDZPF41F，QCDZPF42F，QCDZPF80F，QCDZPF81F，
QCDZPF82F，QCDZPF8LH，QCDZPF8TH，QCDZSTX0F，QCDZSTX1F，
QCDZSTX2F，QCDZSTXLH，QCDZSTXTH，QCDZSTXTW，
RGCG01P01，RGCG01PLT，RGCG02P01，RGCG03P01，RGCG0SP01，
RGCV01P01，RGCV01PLT，RGCV02P01，RGCV03P01，RGCV0SP01，
RGCZ01P01，RGCZ01PLT，RGCZ02P01，RGCZ03P01，RGCZ0SP01，
RGDGHPS0F，RGDGHPX0F，RGDGHPXTH，RGDVHPS0F，RGDVHPX0F，
RGDVHPXTH，RGDZHPS0F，RGDZHPX0F，RGDZHPXTH，TGCGATX01，
TGCGATXC1，TGCGATXK1，TGDGATX0F，TGDGATX1F，TGDGATX2F，
TGDGATXLH，TGDGATXTF，TGDGATXTH，TGDGATXTW，WDFA40W0A，
WDFA40W0F，WDFA40W1F，WDFA40W2F，WDFA80PTF，WDFA80W0A，
WDFA80W0F，WDFA80W2F，WDFG40PSF，WDFG40PTF，WDFG40PTW，
WDFG40W0A，WDFG40W0F，WDFG40W1F，WDFG40W2F，WDFG80PSF，
WDFG80PTF，WDFG80PTW，WDFG80W0A，WDFG80W0F，WDFG80W2F，
WDFGATX0F，WDFV40PSF，WDFV40PTF，WDFV40PTW，WDFV40W0A，
WDFV40W0F，WDFV40W1F，WDFV40W2F，WDFV80PSF，WDFV80PTF，
WDFV80PTW，WDFV80W0A，WDFV80W0F，WDFV80W1F，WDFV80W2F，
WDFVATX0F，WDFVATX2F，WDFZ40PTF，WDFZ40W0A，WDFZ40W0F，
WDFZ40W1F，WDFZ40W2F，WDFZ80PTF，WDFZ80W0F，WDFZ80W1F，
WDFZ80W2F，WDFZATX0F，WDFZATX2F，WDPM0CP0F，WDPM0CP4F，
WDPM0CPSF，WGFA40P01，WGFA80P01，WGFG06D31，WGFG40P01，
WGFG80P01，WGFV40P01，WGFV80P01，WGFZ40P01，WGFZ80P01，
YY361010A，YY361014U，YY3610170，YY3610180，YY3610190，YY3610E0A
，YY3610E4U，YY361210A，YY3612170，YY362210A，YY362214U，
YY3622170，YY3622190，YY36HA20A，YY36HA24U，YY4010102，
YY4010104，YY4010106，YY4010108，YY40101A0，YY4110104，YY4110106
，YY411010A，YY411010B，YY411010L，YY411014B，YY4110160，
YY4110170，YY41101AL，YY411210A，YY411210B，YY411214B，YY4112160
，YY4112170，YY412210A，YY412210B，YY412214B，YY4122160，
YY4122170，YY41HA20A，YY41HB20B，YY41HB20L，YY41HB24B，
YY4510102，YY4510104，YY4510106，YY4510108，YY4510140，YY4510180
，YY4510190，YY45101A0，YY45S01B0，YY4600001，YY4600002，
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，YY4610160，YY4610170，YY4610180，YY4610190，YY46101NB，
YY461030A，YY461034T，YY4610U0K，YY461204B，YY461210A，YY461210B
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，YY4622U0K，YY46B1F0F，YY46H000B，YY46H1F0F，YY464411F0F，
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，YY46HB20B，YY46HB24B，YY46HF20F，YY46N020K，YY46S010A，
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，YY46S0U0K，YY50010R3，YY5500001，YY5500004，YY5500005，
YY5500010，YY5500020，YY55P4000，YY55P8000，ABUG0L0M1，
ABUG0LEM1，ABUG0LKM1，ABUG0S0M1，ABUG0SEM1，ABUG0SKM1，
ABUV0L0M1，ABUV0LEM1，ABUV0LKM1，ABUV0S0M1，ABUV0SEM1，
ABUV0SKM1，ABUZ0L0M1，ABUZ0LEM1，ABUZ0LKM1，ABUZ0S0M1，
ABUZ0SEM1，ABUZ0SKM1，AHUV0L0M1，AHUV0LEM1，AHUV0LKM1，
AHUV0S0M1，AHUV0SEM1，AHUV0SKM1，AHUZ0L0M1，AHUZ0LEM1，
AHUZ0LKM1，AHUZ0S0M1，AHUZ0SEM1，AHUZ0SKM1，AMFT222E1，
AMFT222K1，AMFT332E1，AMFT332K1，AMFT442E1，AMFT442K1，
AMFT664E1，AMFT664K1，AMFT884E1，AMFT884K1，CBUG0L0S1，
CBUG0S0F1，CBUG0S0P1，CBUG0S0S1，CBUG16EL1，CBUG16KL1，
CBUG2L0F1，CBUG2L0P1，CBUG3L0F1，CBUG3L0P1，CBUG3L0S1，
CBUG3S0F1，CBUG40EL1，CBUG40KL1，CBUG40TL1，CBUG6S0P1，
CBUG8L0P1，CBUG8S0P1，CBUV0L0F1，CBUV0L0S1，CBUV0S0F1，
CBUV0S0P1，CBUV0S0S1，CBUV16EL1，CBUV16KL1，CBUV2L0F1，
CBUV2L0P1，CBUV3L0F1，CBUV3L0P1，CBUV3L0S1，CBUV40EL1，
CBUV40KL1，CBUV40TL1，CBUV6S0P1，CBUV8L0P1，CBUV8S0P1，
CBUZ0L0F1，CBUZ0L0S1，CBUZ0S0F1，CBUZ0S0P1，CBUZ0S0S1，
CBUZ16EL1，CBUZ16KL1，CBUZ2L0P1，CBUZ3L0P1，CBUZ3L0S1，
CBUZ40EL1，CBUZ40KL1，CBUZ40TL1，CBUZ6S0P1，CBUZ8L0P1，
CBUZ8S0P1，
CHUV0L0S1，CHUV0S0P1，CHUV0S0S1，CHUV16EL1，CHUV16KL1，
CHUV2L0P1，CHUV3L0P1，CHUV3L0S1，CHUV40EL1，CHUV40EM1，
CHUV40KL1，CHUV40KM1，CHUV6S0P1，CHUV8L0P1，CHUV8S0P1，
CHUZ0L0S1，CHUZ0S0P1，CHUZ0S0S1，CHUZ16EL1，CHUZ16KL1，
CHUZ2L0P1，CHUZ3L0P1，CHUZ3L0S1，CHUZ40EL1，CHUZ40EM1，
CHUZ40KL1，CHUZ40KM1，CHUZ6S0P1，CHUZ8L0P1，CHUZ8S0P1，
CW00NU301，CW00NUS01，CW00PT301，CW00PTS01，CW00PTS31，
CWAG0L0S1，CWAG0S0S1，CWAG0S1S3，CWAG160L1，CWAG16EL1，
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CWAV0S1S3，CWAV160L1，CWAV16EL1，CWAV16KL1，CWAV3L0S1，
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CWAZ0L0S1，CWAZ0S0S1，CWAZ0S1S3，CWAZ160L1，CWAZ16EL1，
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CWAZ40TL1，CWAZ8S1P1，CWUG00EL1，CWUG00PL1，CWUG0S0P1，
CWUG0S0S1，CWUG0S0S3，CWUG0S1S3，CWUG160L1，CWUG16EL2，
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CWUG3L0S1，CWUG40EL1，CWUG40EM1，CWUG40EP1，CWUG40KL1，
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CWUH16KL2，CWUV00PL1，CWUV0S0P1，CWUV0S0S1，CWUV0S0S3，
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CWUV40EM1，CWUV40EP1，CWUV40KL1，CWUV40KM1，CWUV40PP1，
CWUV40TL1，CWUV40TP1，CWUV6S0P1，CWUV8S0P1，CWUZ00PL1，
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CWUZ16EL2，CWUZ16KL2，CWUZ3L0P1，CWUZ3L0S1，CWUZ400L1，
CWUZ40EL1，CWUZ40KL1，CWUZ40KM1，CWUZ40TL1，CWUZ6S0P1，
CWUZ8S0P1，DZU004401，DZUM04401，DZUM044C1，DZUMC4401，
DZUPC21K1，DZUV016K2，DZUV040K1，DZUVA4401，DZUZA4401，
PFFG01D8S，PFFV01D4S，PFFV01D8S，PFFV03D4P，PFFV03D6P，
PFFZ01D8S，PFFZ03D4P，WGFA04HP6，WGFA16HP2，WGFA40H01，
WGFA40HP1，WGFG04HP6，WGFG04TP6，WGFG16CP2，WGFG16D01，
WGFG16D21，
WGFG16HP1，WGFG16HP2，WGFG16HT2，WGFG16TP2，WGFG40D01，
WGFG40H01，WGFG40HP1，WGFG40HT1，WGFG40KP1，WGFG40N01，
WGFG40T01，WGFV04HP6，WGFV16CP2，WGFV16D01，WGFV16D21，
WGFV16HP1，WGFV16HP2，WGFV16HT2，WGFV16KP2，WGFV16NP2，
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YY5000410，YY5000421，YY5000425，YY5000426，YY5000427，YY5000430
，YY5000431，YY5000432，YY5000433，YY5000434，YY5000436，
YY5000437，YY5000438，YY5000440，YY5001600，YY500400A，YY50P1600
，YY50P1606，YY50P160S，YY5M1L0K0，YY5M1L0V0，YY5M1LSVA，
YY5M1LSVC，YY5M1U4KA，YY5M1UKV0，YY5M1USVA，YY5M1USVD，
YY5M2L3VA，YY5M2LSPA，YY5M2U0K0，YY5M2U0V0，YY5M2USVA，
YY5S1U1KB，YY5S1U1T0，ENC0M1CN0，ENC0MPH01，ENC0MPH02，
ENC0MPV01，ENC0MPV02，ENC0MSP01，ENC0MSP05，ENC0MTC00，
ENC0MTC01，INGEN1PU0，INGEN1PU1，INGEN1ST0，INGEN2DVC，
INGEN2PS1，INGEN2PU0，INGENSP01，INGENSP02，INGENSP03，
INGENSP04，INGENSP05，INGENSP06，INGENSP07，INGENSP08，
INGENSP09，INGENSP10，INGENSP12，INGENSP13，INGENSP14，
INGN2SP01，INGN2SP02，INGN2SP03，INGN2SP06，INGN2SP07，
INGN2SP08，INGN2SP09，INGN2SP10，INGN2SP11，INGN2SP12，
INGN2SP14，INGN2SP15，INGN2SP19，INGN2SP21，INGN2SP22，
INGN2SP23，INGN2SP24，INTIG2DUV，INTIG2ILN，INTILN2DW，
R2501PH01，R2501PH02，RGEN1SP06，W2501CB08，W2501CB12，
W2501CB16，W2501CB22，W2501CC01，W2501KP01，W2501PC01，
W2501PH01，W2501PH02，W2501RK01，W2501SP01，W2501SP02，
W2501SP03，W2501SP04，W2501SP07，W2501SP08，W2501SP09，
W2501SP10，W2501SP11，W2501SP12，W2501SP13，W2501SP14，
W2501SP15，W2501SP16，W2501SP17，W2501SP18，W2501SP19，
W2501SP20，W2501SP21，W2501TC01，W2501TC02，W2501TC03，
W2501TC04，W2501TC05，
W2501TC06，W2501TC07，W2501VC01，W2501VK01，W2501VS01，
WCDI00010，WCDI00020，WCDI00030，WCDI00040，WCDI00060，
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WCDPP05TD，WCDPP28ED，WCDPP90E0，WCDS00000，WCDS000B1，
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WCDS1SP01，WCDS1SP02，WCDS1SP03，WCDS1SP03，WCDS1SP04，
WCDS1SP04，WCDS204L1，WCDS216L1，WCDS216NF，WCDS240L1，
WCDS2S001，WCDS2S002，WCDS2S003，WCDS2S004，WCDS2S005，
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WCDSE25T5，WCDSF04L1，WCDSF16L1，WCDSF40L1，WCDSG70E0，
WCDSJ13F0，WGEN02KP1，WGEN02PH1，WGEN02PS2，WGEN21CB0，
WGEN21CB1，WGEN21CB3，WGEN21CB4，WGEN21CB5，WGEN21CB6，
WGEN21CB7，WGEN21CN1，WGEN21CN3，WGEN21CN4，WGEN21CN5，
WGEN21CN6，WGEN21CN7，WGEN22CN0，WGEN22S01，WGEN2S001，
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WGEN2S012，WGEN2S013，?
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