美國英特格過濾器WG2FT1SS2期貨

美國英特格過濾器WG2FT1SS2期貨

美國英特格過濾器WG2FT1SS2期貨

?

Wafergard?II?F?微型在線氣體過濾器
用于超純氣體系統(tǒng)過濾的卓越微粒過濾。Wafergard?II?F?微型在線氣體過濾器推薦用于惰性和反應(yīng)性氣體，與所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體具有出色的兼容性。
合身尺寸
1/4"
配件類型
密封墊片?對焊管
長度
84.1?毫米（3.31?英寸）?73.7?毫米（2.90?英寸）
最大工作壓力
207?bar?(3000?psig)?@?23°C?(73°)
Wafergard?II?F?微型在線氣體過濾器
這些氣體過濾器推薦用于惰性氣體和反應(yīng)性氣體，與所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體具有出色的兼容性，并且易于安裝在狹窄的氣體面板和機(jī)柜中。?

PTFE?膜提供高效過濾
低壓降降低了在較低蒸氣壓氣體中冷凝的風(fēng)險(xiǎn)
與所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體具有出色的兼容性
用于惰性和反應(yīng)性氣體，包括臭氧
應(yīng)用
Wafergard?II?F?微型在線氣體過濾器應(yīng)用
生命科學(xué)應(yīng)用
臭氧應(yīng)用（氣體）
氣柜和面板
超純氣體系統(tǒng)
內(nèi)部流程工具
產(chǎn)品規(guī)格
材料
? 濾芯
? 由模壓?PFA?結(jié)構(gòu)支撐的疏水?PTFE?膜
住房 電拋光?VAR?316L?不銹鋼
下游清潔度? 小于?0.03?個(gè)顆粒/升?(<1?個(gè)顆粒/ft?3?)?大于?0.01?μm?
揮發(fā)物<10?ppb?水分
移除等級 ≥0.0015?μm
表面處理內(nèi)部 ≤7?μin?Ra
氦泄漏等級 合格的 2?×?10?-10毫升/秒
經(jīng)過測試 1?×?10?-9毫升/秒
運(yùn)行條件 最大入口壓力 207?bar?(3000?psig)?@?23°C?(73°F)
最大正向壓差 4?巴?(60?psid)?@?23°C?(73°F)
?
最大反向壓差 0.07?MPa?(0.7?bar,10?psid)?@?23°C?(73°F)
?
最高工作溫度 120°C?(248°F)
顆粒保留
? 大于?99.9999999%?(9?LRV)?在?30?slpm?下去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
流量等級 參考性能數(shù)據(jù)
零件號(hào)
Wafergard?II?F?微型在線氣體過濾器部件號(hào)
零件號(hào) 接頭尺寸和類型 長度 應(yīng)用
WG2FT1BW2 1/4"?對焊管 89.9?毫米（3.54?英寸） 半導(dǎo)體
WG2FT1RF2 1/4"?墊圈密封（與?VCR?接頭兼容）公入口/母出口 88.9?毫米（3.50?英寸） 半導(dǎo)體
WG2FT1RR2 1/4"?墊片密封（與?VCR?接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1?毫米（3.31?英寸） 半導(dǎo)體
WG2FT1RR2L 1/4"?墊片密封（與?VCR?接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1?毫米（3.31?英寸） 生命科學(xué)
WG2FT1SS2 1/4"?壓縮密封（與世偉洛克接頭兼容） 73.7?毫米（2.90?英寸） 半導(dǎo)體

?

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QCCVATM01K

QCCVATX01

QCCZAT101

QCCZATX01

QCDVATX2F

QCDYATM0F

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QCPV15P3F

QCPV15P8P

QCVZATMTS

QCVZATMTH

QCVZATMTS0

QCVZATETH

QCVZATM4H

QCVZATM3S0

QCVZATM4S

QCVZATETS

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QCVZATX4S

QCVZATM3S

QCVZATX3S

QCVZATM4S0

QCVZATETW

QCVZATMLH

QCVZATMTW

QCVZATET3

QCVZATELH

QCVZATE4S

QCVZATE4H

QCVZATE3S

QCVZACMTW

QCVZACMTS

QCVZACM4S

QCVZACM3S

QCVZACETS

QCVZACE4S

QCVZACE3S

QCVYATMTW

QCVYATMTS0

QCVYATMTS

QCVYATMTH

QCVYATMT3

QCVYATMLH

QCVYATM4S0

QCVYATM4S

QCVYATM4H

QCVYATM3S0

QCVYATM3S

QCVYATETW

QCVYATETS

QCVYATETH

QCVYATET3

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QCVYATE4S

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QCVYACMTS

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QCVYACETS

QCVYACETH

QCVYACE4S

QCVYACE4H

QCVYACE3S

QCVVATX4S

QCVVATX3S

QCVVATMTW

QCVVATMTS0

QCVVATMTS

QCVVATMTH

QCVVATMT3

QCVVATMLH

QCVVATM4S0

QCVVATM4S

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QCVVATM3S0

QCVVATM3S

QCVVATETW

QCVVATETS

QCVVATETH

QCVVATET3

QCVVATELH

QCVVATE4S

QCVVATE4H

QCVVATE3S

QCVVACM4S

QCVVACM3S

QCV0000TS

QCV0000TH

QCV00004S

QCV00003S

QCPZ30PWW

QCPZ30P8S

QCPZ30P8P

QCPZ30P3S

QCPZ30P3F

QCPZ30P2S

QCPZ30P2P

QCPZ30C3F

QCPZ30C2S

QCPZ30C2P

QCPZ15P8S

QCPZ15P8P

QCPZ15P3S

QCPZ15P3F

QCPZ15C8S

QCPZ15C3F

QCPY30X3S

QCPY30MWW

QCPY30M8S

QCPY30M8P

QCPY30M3S

QCPY30M3F

QCPY30M2S

QCPY30M2P

QCPY30C3S

QCPY30C3F

QCPY30C2S

QCPY30C2P

QCPY15M8S

QCPY15M8P

QCPY15M3S

QCPY15M3F

QCPY15C8S

QCPY15C3F

QCPV30PWW

QCPV30P8S

QCPV30P8P

QCPV30P3S

QCPV30P3F

QCPV30P2S

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美國ENTEGRIS應(yīng)特格，WG3NS8RR2現(xiàn)貨，Wafergard? III NF Micro XL 在線氣體過濾器

美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現(xiàn)貨

美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現(xiàn)貨

美國ENTEGRIS英特格，過濾器WGPM0GGG2，現(xiàn)貨

?為超純氣體系統(tǒng)過濾提供卓越的微粒過濾，是高溫和動(dòng)態(tài)壓力應(yīng)用的理想選擇。

最先進(jìn)的外殼組件通過最小化焊接區(qū)域來消除除氣
全金屬結(jié)構(gòu)是高溫和動(dòng)態(tài)壓力應(yīng)用的理想選擇
緊湊的尺寸和靈活的配件選擇提供了最高的設(shè)計(jì)效率并最大限度地降低了工程成本
應(yīng)用
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過濾器應(yīng)用
超純氣體管線
高溫應(yīng)用
新工廠建設(shè)
動(dòng)壓應(yīng)用
惰性和活性氣體
產(chǎn)品規(guī)格

材料 濾芯 燒結(jié)鎳膜過濾器
? 住房 電拋光 VAR316L 不銹鋼外殼
下游清潔度 粒子 <0.03 顆粒/升（<1 顆粒/ft 3） >0.01 μm
? 揮發(fā)物 Volatile outgassing of H2O, O2, and THC is below detectable limits (by RGA and FID at room temperature)
Removal rating ≥0.0015 μm
Surface finsh interior ≤5 μin Ra
Helium leak rating Qualified 2 × 10-10 atm-ccc.
? Tested 1 × 10-9 atm-ccc.
Maximum operating conditions: Maximum inlet pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
? Design pressure 20 MPa (200 bar, 2900 psid) at 20°C (68oF)
? Maximum forward/reverse differential pressure 1 MPa (10 bar, 150 psid)
? Maximum operating temperature Inert gases 400°C (725°F) @ 35 bar (500 psi)
? ? Corrosive and reactive gases 50°C (122°F) @ 70 bar (1000 psi)
Warranty 5 year
Particle retention Greater than 99.9999999% (9 LRV) removal of all particles at 15 slpm
Flow rating Refer to performance data
?零件號(hào)
Wafergard III NF Micro XL 在線氣體過濾器部件號(hào)
零件號(hào) 接頭尺寸和類型 長度
.特種氣體

特種氣體是指稀有氣體或超高純度（99.995% 以上）的氣體。包括分析、醫(yī)藥、電子及石油化工在內(nèi)的許多行業(yè)都會(huì)受益于特種氣體的獨(dú)特性質(zhì)，它有助于提高產(chǎn)量、優(yōu)化性能以及降低成本。我們富有經(jīng)驗(yàn)的應(yīng)用團(tuán)隊(duì)遍布全球，可以根據(jù)對您的行業(yè)和應(yīng)用情況的了解，為您提供特種氣體供應(yīng)解決方案，以滿足您的獨(dú)特需求。

Gasketgard 在線墊片過濾器

Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可與標(biāo)準(zhǔn) 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行業(yè)
半導(dǎo)體 平板顯示器 數(shù)據(jù)存儲(chǔ) 引領(lǐng)
過程
散裝氣體輸送 薄膜 沉積 干蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在線墊片過濾器
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WG3NS8RR2 1/4" 墊圈密封件（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8RR2P 1/4" 墊圈密封（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口，接頭用塑料蓋代替金屬蓋保護(hù) 84.1 毫米（3.31"）
WG3NS8SL2 1/4" 密封墊圈（與 VCR 接頭兼容）外螺紋入口/出口，短型 50.8 毫米（2.00"）?

Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器

這些在線 PTFE 氣體過濾器與高純度氣體兼容，并在 超純氣體應(yīng)用 以及 一般氮?dú)夂?CDA 應(yīng)用中提供卓越的顆粒過濾。

PTFE 濾芯在超純應(yīng)用中表現(xiàn)出色?
專為高流量和低增量壓力應(yīng)用而設(shè)計(jì)?
用于惰性和反應(yīng)性氣體，包括臭氧?
為快速啟動(dòng)而預(yù)先調(diào)節(jié)（僅限銀色）?
應(yīng)用
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器應(yīng)用
兼容所有類別的半導(dǎo)體工藝氣體
與一般氮?dú)夂?CDA 應(yīng)用兼容
產(chǎn)品規(guī)格
材料 濾芯 由模壓 PFA 結(jié)構(gòu)支撐的疏水 PTFE 膜
? 住房 電拋光低硫 316L 不銹鋼外殼
下游清潔度 粒子 小于 0.03 個(gè)顆粒/升 (<1 個(gè)顆粒/ft 3 ) 大于 0.01 μm
? 揮發(fā)物（銀） <10 ppb H 2 O 和 O 2。低于 LDL THC（檢測下限為 5 ppb）
移除等級 ≥0.0015 微米
表面處理內(nèi)部 WGMX（青銅）MB XXXX ≤20 μin Ra
? WGMX（銀/青銅加）MS XXX/XXX ≤7 μin Ra
氦泄漏等級 合格的 2 x 10 -10 atm-cc/秒
? 經(jīng)過測試 1 x 10 -9 atm-cc/秒
運(yùn)行條件
? 最大入口壓力
? Silver 和 Bronze Plus 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭：7.0 MPa (70 bar, 1015 psig)
? ? 青銅 1?4" 和 1?2" VCR 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
? ? Bronze 和 Bronze Plus 1?4"、3?8" 和 1?2" Swagelok 兼容接頭：6.0 MPa (60 bar, 870 psig)
? 最大正向壓差 7 巴 (102 psid)
? 最大反向壓差 2.5 巴 (36 psid)
? 最高工作溫度 120°C (248°F)
流量等級 參考性能數(shù)據(jù)
保修單 青銅 1年
? 銀 3年
顆粒保留 大于 99.9999999% (9 LRV) 去除所有顆粒（參考最具穿透性的顆粒尺寸）
零件號(hào)
Wafergard MAX 在線 PTFE 氣體過濾器部件號(hào)
零件號(hào) 接頭尺寸和類型 長度
WGMXMBPRF2 1/4" 公 VCR 入口，1/4" 母 VCR 出口 141.2 毫米（5.6 英寸）
WGMXMBRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMBSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMBSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMBSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMPRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）
WGMXMPSS2 1/4" 世偉洛克112.7 毫米（4.44 英寸）
WGMXMPSS3 3/8" 世偉洛克117.9 毫米 (4.64)
WGMXMPSS4 1/2" 世偉洛克118.7 毫米（4.67 英寸）
WGMXMSBW2 1/4" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW3 3/8" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSBW4 1/2" 對焊管 133.4 毫米（5.25 英寸）
WGMXMSRR2 1/4" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）

WGMXMSRR4 1/2" 公 VCR127 毫米（5.00 英寸）

ENTEGRIS?? ??? ?WGPM0GGT4?? ?過濾器

ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMSRR2?? ?

ENTEGRIS?? ??? ?LGMXFPSS4?? ?

ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMSRR2（無包裝）?? ?

Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過濾器

ENTEGRIS?? ??? ?WGPMOGGT2?? ?

Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過濾器

Entegris?? ??? ?WGMXMBRR4?? ?過濾器

ENTEGRIS?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?過濾器

ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMSRR4?? ?過濾器

ENTEGRIS?? ??? ?WG3NSMSL2?? ?過濾器

Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過濾器

ENTEGRIS?? ??? ?WG3NSMSL2?? ?

Entegris?? ??? ?WG2FT1SS2?? ?過濾器

ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過濾器

ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過濾器

ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMSRR4?? ?過濾器

Entegris?? ??? ?WG2FT1RR2?? ?過濾器

ENTEGRIS?? ??? ?WG3NS8RR2?? ?過濾器

ENTEGRIS?? ??? ?WGFGMBRR4?? ?過濾器

ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過濾器

Entegris?? ??? ?WGMXMBRR4?? ?過濾器

ENTEGRIS?? ??? ?WG3NS1RR2?? ?過濾器

Entegris?? ??? ?WG2FT1SS2?? ?過濾器

ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMSRR2?? ?

ENTEGRIS?? ??? ?LGMXFPSS4?? ?

ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMSRR2（無包裝）?? ?

ENTEGRIS?? ??? ?WG3NSMSL2?? ?過濾器

ENTEGRIS?? ??? ?WG3NSMSL2?? ?

ENTEGRIS?? ??? ?CBUG0S0S1?? ?過濾器

ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMPRR4?? ?

ENTEGRIS?? ??? ?WGMXMPSS3?? ?

ENTEGRIS?? ??? ?WG2F02RR4?? ?

Entegris?? ??? ?WG2FT1SS2?? ?過濾器

ENTEGRIS?? ??? ?WG3NSMSL2?? ?

ENTEGRIS?? ??? ?WGFGT1PR1?? ?過濾器

ENTEGRIS?? ??? ?WGPMOGGT2?? ?

ENTEGRIS?? ??? ?WGPM0GGG2?? ?過濾器

Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可代替標(biāo)準(zhǔn)的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。

保持器便于對齊
設(shè)計(jì)用于輕松插入標(biāo)準(zhǔn)氣體管線
非常適合高壓和高溫應(yīng)用
保護(hù)關(guān)鍵部件免受顆粒物損壞
在世界一流的 ISO 認(rèn)證設(shè)施中制造
應(yīng)用
Gasketgard 在線墊片過濾器應(yīng)用
用于最高 400°C (752°F) 的應(yīng)用
用于保護(hù)敏感氣體成分
適用于高壓和高溫應(yīng)用?
產(chǎn)品規(guī)格
材料： 焊接到 316L 不銹鋼墊片上的燒結(jié) 316L 不銹鋼過濾介質(zhì) ?
? 保持器 316 不銹鋼 ?
顆粒保留： 去除所有大于 0.3 μm 直徑的顆粒超過 95% ?
運(yùn)行條件： 最大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
? 最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號(hào)
Gasketgard 在線墊片過濾器部件號(hào)
零件號(hào) 接頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）

? Gasketgard 在線墊片過濾器
Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可與標(biāo)準(zhǔn) 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈配合使用。
合身尺寸
1/4" 1/2" 3/8"
長度
25 毫米（0.98 英寸） 25.25 毫米（0.99 英寸） 29.5 毫米（1.16 英寸）
行業(yè)
半導(dǎo)體 平板顯示器 數(shù)據(jù)存儲(chǔ) 引領(lǐng)
過程
散裝氣體輸送 薄膜 沉積 干蝕刻 離子注入 光刻
Gasketgard 在線墊片過濾器
??
?Gasketgard 在線墊圈過濾器是一種緊湊型全金屬過濾器，可代替標(biāo)準(zhǔn)的 1/4"、3/8" 和 1/2" VCR 墊圈。

保持器便于對齊
設(shè)計(jì)用于輕松插入標(biāo)準(zhǔn)氣體管線
非常適合高壓和高溫應(yīng)用
保護(hù)關(guān)鍵部件免受顆粒物損壞
在世界一流的 ISO 認(rèn)證設(shè)施中制造
應(yīng)用
Gasketgard 在線墊片過濾器應(yīng)用
用于最高 400°C (752°F) 的應(yīng)用
用于保護(hù)敏感氣體成分
適用于高壓和高溫應(yīng)用?
產(chǎn)品規(guī)格
材料： 焊接到 316L 不銹鋼墊片上的燒結(jié) 316L 不銹鋼過濾介質(zhì) ?
? 保持器 316 不銹鋼 ?
顆粒保留： 去除所有大于 0.3 μm 直徑的顆粒超過 95% ?
運(yùn)行條件： 最大壓差 1?4” P1: 5.1 MPa (51 bar, 740 psid)
1?4” P2: 10.4 MPa (104 bar, 1508 psid)
1?2” P1: 1.7 MPa (17 bar, 247 psid)
1?2” P2 : 2.9 兆帕 (29 巴, 421 psid)
? 最高工作溫度 400°C (752°F) [惰性氣體]
零件號(hào)
Gasketgard 在線墊片過濾器部件號(hào)
零件號(hào) 接頭尺寸和類型 長度
WGPM0GGG2 1/4" 型 25.00 毫米（0.98 英寸）
WGPM0GGT2 1/4" 型帶保持器 25.25 毫米（0.99 英寸）
WGPM0GGT4 1/2" (3/8") 型帶保持器 29.50 毫米（1.16 英寸）
??

ENTEGRISWGPMOGGT21.00

ENTEGRISWGFGT1PR12.00過濾器

ENTEGRISWGPM0GGG210.00過濾器

EntegrisWG2FT1SS23.00過濾器

EntegrisWG2FT1SS22.00過濾器

ENTEGRISWGMXMSRR41.00過濾器

ENTEGRISWGMXMSRR22.00

EntegrisWG2FT1RR22.00過濾器

EntegrisWG2FT1RR21.00過濾器

EntegrisWG2FT1RR210.00過濾器