China Hi-Tech Service Bulletin
MIDAS-T-NP1 熱裂解器安裝指導(dǎo)說(shuō)明
1，Midas-T-NP1 裂解器可以探測(cè)的氣體和 Sensor 類型
?
?Midas-T-NP1 裂解器對(duì)本體版本要求：軟件版本不低于 V1.10；不正確的 Sensor 類型和本體
軟件版本，不能啟動(dòng) NP1，將會(huì)報(bào)故障 F90。
2，Midas-T-NP1 裂解器安裝要求及典型問(wèn)題
?過(guò)濾器：NF3 必須安裝氟利昂過(guò)濾器（1830-0027），其他氣體不能安裝氟利昂過(guò)濾器。
所有氣體都強(qiáng)烈建議安裝灰塵過(guò)濾器（780248）。
?Midas-T-NP1 裂解器安裝完成后，用轉(zhuǎn)子氣體流量計(jì)在過(guò)濾器（如有）下端檢查流量，標(biāo)準(zhǔn)
為 500sccm；裂解器剛啟動(dòng)時(shí)，通過(guò)網(wǎng)頁(yè)確認(rèn)流經(jīng)裂解器加熱元器件的流量（55-120sccm)；待
裂解器穩(wěn)定運(yùn)行時(shí)（320 ?C±25 ?C）,再次確認(rèn)流經(jīng)裂解器加熱元器件的流量（最佳值 75sccm,范
圍：55-120sccm，超出此范圍將報(bào) F92），裂解器溫度和流量都在范圍之內(nèi)，無(wú)故障出現(xiàn)，NP1
即可正常工作。
?典型問(wèn)題：
?a. 轉(zhuǎn)子流量計(jì)沒(méi)有流量：檢查整個(gè)氣路的氣密性，重新安裝裂解器，注意進(jìn)氣管是否自然垂
直，有無(wú)扭曲。
?b. 轉(zhuǎn)子流量計(jì)流量低：進(jìn)行流量標(biāo)定，如果標(biāo)定不成功，檢查本體的泵能力，更換泵或本
體。
?c. 裂解器達(dá)到額定工作溫度時(shí)，本體或流經(jīng)裂解器的流量不穩(wěn)定，通過(guò)流量標(biāo)定來(lái)調(diào)節(jié)穩(wěn)
定。
3，Midas 探測(cè)器流量標(biāo)定
?流量標(biāo)定步驟：
a. 常按上下鍵后選擇進(jìn)入 CAL 菜單；
b. 打勾進(jìn)入選擇 Flow，打勾確認(rèn)進(jìn)入零點(diǎn)標(biāo)定；
c. 成功后進(jìn)入 500sccm 標(biāo)定，根據(jù)外部流量計(jì)通過(guò)上下鍵調(diào)節(jié)實(shí)際流量到 500sccm；
d. 重復(fù)步驟 3 標(biāo)定第二點(diǎn)（600/650sccm).
e. 完成流量標(biāo)定后退出，進(jìn)入監(jiān)控模式。
4, 流經(jīng)裂解器流量調(diào)節(jié)
?流經(jīng)裂解器加熱元器件的流量不在范圍之內(nèi)(55-120sscm)：通過(guò)裂解器標(biāo)簽下面的流量調(diào)節(jié)螺
絲來(lái)調(diào)節(jié)流經(jīng)裂解器的流量（參考網(wǎng)頁(yè)上顯示的裂解器流量，本體默認(rèn) IP:169.254.60.47,工具
BULLETIN NUMBER: 2018-001 1/25/2018
China Hi-Tech Service Bulletin
為 2.5mm 的內(nèi)六角扳手）
?a, 確認(rèn) F92 是由流量原因引起的，網(wǎng)頁(yè)上裂解器流量不在 55-120sccm 范圍內(nèi)，Midas 本體的
Event History 內(nèi) F92 的 Data 是 0x1000。
?b, 撕開(kāi) NP1 裂解器的標(biāo)簽，發(fā)現(xiàn)如圖五的內(nèi)六角螺絲，此螺絲即為裂解器流量調(diào)節(jié)螺絲。
?c, 打開(kāi) Midas 網(wǎng)頁(yè)，在裂解器達(dá)到穩(wěn)定工作溫度時(shí)（320 ?C±25 ?C），觀察流經(jīng)裂解器的流
量；如果裂解器的流量低（低于 55sccm）如圖六，順時(shí)針調(diào)節(jié)內(nèi)六角螺絲增大流量，直到穩(wěn)定
的流量達(dá)到 75-100sccm；如果裂解器的流量高（高于 120sccm）如圖七，逆時(shí)針調(diào)節(jié)內(nèi)六角螺
絲減小流量，直到穩(wěn)定的流量達(dá)到 75-100sccm 如圖八；然后復(fù)位 F92 故障。
?d, 如果裂解器溫度不能上升，直接按照步驟 c 順時(shí)針調(diào)節(jié)內(nèi)六角螺絲增大流量，直到穩(wěn)定的
流量達(dá)到 75-100sccm。
?e, 如果調(diào)節(jié)內(nèi)六角螺絲不能使流經(jīng)裂解器的流量在 55-120sccm 范圍內(nèi)，請(qǐng)把 NP1 裂解器寄
給 Honeywell 檢查。
HONEYWELL MIDAS-E-NO2 4.00 傳感器
HONEYWELL MIDAS-A-009 7.00 過(guò)濾器
HONEYWELL MIDAS-A-009 20.00 過(guò)濾器
HONEYWELL MIDAS-A-009 2.00 過(guò)濾器
HONEYWELL MIDAS-A-009 15.00 過(guò)濾器
?Honeywell MIDAS-T-004G 1.00 主機(jī)
?Honeywell MIDAS-T-004G 1.00 主機(jī)
Honeywell MIDAS-E-COX 4.00 氣體檢測(cè)器
Honeywell MIDAS-A-007 35.00 氣體探測(cè)器
Honeywell MIDAS-A-007 2.00 氣體探測(cè)器
?Honeywell MIDAS-T-NP1 1.00 加熱器
?Honeywell MIDAS-T-NP1 1.00 加熱器
?Honeywell MIDAS-E-HCL 2.00 氣體探頭
?Honeywell MIDAS-E-HCL 18.00 氣體探頭
?Honeywell MIDAS-E-HCL 1.00 氣體探頭
?Honeywell MIDAS-T-NP1 2.00 加熱器
Honeywell MIDAS-A-007 2.00 氣體探測(cè)器
?Honeywell MIDAS-E-HCL 1.00 氣體探頭
?Honeywell MIDAS-E-HCL 13.00 氣體探頭
?Honeywell MIDAS-E-HCL 4.00 氣體探頭
?Honeywell MIDAS-E-HCL 1.00 氣體探頭
?Honeywell MIDAS-T-NP1 1.00 加熱器
HONEYWELL MIDAS-E-NH3 1.00 氣體探測(cè)器
HONEYWELL MIDAS-E-NH3 1.00 氣體探測(cè)器
?Honeywell MIDAS-T-004G 2.00 主機(jī)
?Honeywell MIDAS-T-004G 3.00 主機(jī)
?Honeywell MIDAS-T-NP1 2.00 加熱器
?Honeywell MIDAS-E-HAL 1.00 氣體探頭
?Honeywell MIDAS-E-HAL 4.00 氣體探頭
HONEYWELL MIDAS-E-HFU 1.00 探頭
HONEYWELL MIDAS-E-LEL 10.00 氣體探測(cè)器探頭
HONEYWELL MIDAS-E-NH3 2.00 氣體探測(cè)器
HONEYWELL MIDAS-E-SHX 1.00 氣體探測(cè)器探頭
HONEYWELL MIDAS-E-SHX 2.00 氣體探測(cè)器探頭
HONEYWELL MIDAS-E-SHX 78.00 氣體探測(cè)器探頭
?Honeywell MIDAS-E-HCL 1.00 氣體探頭
HONEYWELL MIDAS-E-LEL 1.00 氣體探測(cè)器探頭
HONEYWELL MIDAS-E-SHX 2.00 氣體探測(cè)器探頭
?Honeywell MIDAS-T-NP1 4.00 加熱器
HONEYWELL MIDAS-E-NH3 10.00 氣體探測(cè)器
HONEYWELL MIDAS-E-SHX 10.00 氣體探測(cè)器探頭
?Honeywell MIDAS-E-HAL 4.00 氣體探頭
?Honeywell MIDAS-E-HCL 5.00 氣體探頭
HONEYWELL MIDAS-E-LEL 3.00 氣體探測(cè)器探頭
?Honeywell MIDAS-E-NH3 6.00 氣體探頭
HONEYWELL MIDAS-E-SHX 2.00 氣體探測(cè)器探頭
Honeywell MIDAS-A-007 6.00 氣體探測(cè)器
?Honeywell MIDAS-T-NP1 1.00 加熱器
?Honeywell MIDAS-E-HCL 1.00 氣體探頭
?Honeywell MIDAS-T-006G 22.00 主機(jī)
?Honeywell MIDAS-T-006G 35.00 主機(jī)
?Honeywell MIDAS-E-HAL 2.00 氣體探頭
HONEYWELL MIDAS-E-SHX 1.00 氣體探測(cè)器探頭
?Honeywell MIDAS-T-NP1 1.00 加熱器
HONEYWELL MIDAS-E-B2H 1.00 氣體傳感器
?Honeywell MIDAS-E-HAL 1.00 氣體探頭
?Honeywell MIDAS-T-NP1 1.00 加熱器
?Honeywell MIDAS-T-NP1 1.00 加熱器
?Honeywell MIDAS-E-HAL 10.00 氣體探頭
HONEYWELL MIDAS-E-NOX 1.00 傳感器
?Honeywell MIDAS-E-H2X 9.00 氣體探頭
HONEYWELL MIDAS-E-SHX 1.00 氣體探測(cè)器探頭
HONEYWELL MIDAS-E-NH3 1.00 氣體探測(cè)器
HONEYWELL MIDAS-E-NH3 2.00 氣體探測(cè)器
HONEYWELL MIDAS-E-ASH 2.00 氣體探測(cè)器探頭
HONEYWELL MIDAS-E-SHX 1.00 氣體探測(cè)器探頭
?Honeywell MIDAS-T-NP1 1.00 加熱器
?Honeywell MIDAS-E-H2X 3.00 氣體探頭
HONEYWELL MIDAS-E-SHX 3.00 氣體探測(cè)器探頭
?Honeywell MIDAS-E-HAL 5.00 氣體探頭
HONEYWELL MIDAS-E-NH3 9.00 氣體探測(cè)器
HONEYWELL MIDAS-E-NH3 1.00 氣體探測(cè)器
?Honeywell MIDAS-E-HCL 1.00 氣體探頭
HONEYWELL MIDAS-E-SHX 1.00 氣體探測(cè)器探頭
?Honeywell MIDAS-T-006G 1.00 主機(jī)
HONEYWELL MIDAS-E-SHX 36.00 氣體探測(cè)器探頭
HONEYWELL MIDAS-E-NH3 23.00 氣體探測(cè)器
HONEYWELL MIDAS-E-NH3 50.00 氣體探測(cè)器
HONEYWELL MIDAS-E-NH3 250.00 氣體探測(cè)器
?Honeywell MIDAS-E-HCL 50.00 氣體探頭
HONEYWELL MIDAS-E-SHX 50.00 氣體探測(cè)器探頭
?Honeywell MIDAS-E-PH3 5.00 氣體探測(cè)器
?Honeywell MIDAS-E-HCL 200.00 氣體探頭
HONEYWELL MIDAS-E-TEO 5.00 氣體檢測(cè)器探頭
?Honeywell MIDAS-E-H2X 1.00 氣體探頭
HONEYWELL MIDAS-E-ASH 1.00 氣體探測(cè)器探頭
?Honeywell MIDAS-E-PH3 2.00 氣體探測(cè)器
?Honeywell MIDAS-E-HCL 7.00 氣體探頭
HONEYWELL MIDAS-E-SHX 1.00 氣體探測(cè)器探頭
HONEYWELL MIDAS-E-TEO 2.00 氣體檢測(cè)器探頭
HONEYWELL MIDAS-E-HFX 1.00 氣體探測(cè)器探頭
?Honeywell MIDAS-T-NP1 1.00 加熱器
?Honeywell MIDAS-T-006G 90.00 主機(jī)
HONEYWELL MIDAS-E-LEL 6.00 氣體探測(cè)器探頭
honeywell MIDAS-E-XHF 2.00 探頭
HONEYWELL MIDAS-E-LEL 3.00 氣體探測(cè)器探頭
HONEYWELL MIDAS-E-NH3 1.00 氣體探測(cè)器
產(chǎn)品總覽
Midas氣體檢測(cè)儀使用可靠的傳感器技術(shù)來(lái)檢測(cè)工廠中許多關(guān)鍵的有毒，環(huán)境和可燃?xì)怏w。該設(shè)備使用專利技術(shù)調(diào)節(jié)流量并確保無(wú)誤檢測(cè)氣體，從而監(jiān)控距離最高可達(dá)100英尺（30米）的點(diǎn)。得益于霍尼韋爾（中國(guó)）的先進(jìn)機(jī)器人技術(shù)，Midas氣體檢測(cè)儀可提供無(wú)與倫比的質(zhì)量和可靠性：
提高可見(jiàn)度和易用性。Midas氣體檢測(cè)儀配備有明亮的LED燈和直觀的交互式界面，可為氣體讀數(shù)或警報(bào)水平提供即時(shí)警報(bào)。該界面還包括用于配置，測(cè)試和校準(zhǔn)的受密碼保護(hù)的菜單。
簡(jiǎn)易安裝。Midas氣體檢測(cè)儀體積小巧，易于操作的金屬底盤(pán)，易于安裝。在空間緊張的擁擠，復(fù)雜的過(guò)程環(huán)境中，這一點(diǎn)尤其重要。
大量的應(yīng)用程序。Midas氣體檢測(cè)器具有易于使用的功能豐富的功能，適用于許多行業(yè)應(yīng)用，包括半導(dǎo)體加工，輕工業(yè)制造，大學(xué)實(shí)驗(yàn)室，航空航天，廢水等。
其他功能和優(yōu)點(diǎn)：
提供超過(guò)35種氣體，并提供2年保修*
帶有板載“電子校準(zhǔn)”證書(shū)的智能傳感器盒
3個(gè)內(nèi)置繼電器（C型），用于警報(bào)1、2和故障
以太網(wǎng)供電（PoE）通信
鍵盤(pán)界面和遠(yuǎn)程Web瀏覽器界面
可選的Midas Pyrolyzer模塊，可連接到任何Midas氣體檢測(cè)器
受密碼保護(hù)的菜單級(jí)別可保持系統(tǒng)完整性
明亮的LED和直觀的圖標(biāo)驅(qū)動(dòng)，大型多色背光LCD顯示屏
經(jīng)過(guò)工廠校準(zhǔn)的傳感器，減少了頻繁進(jìn)行氣體測(cè)試的需要
隔離的0-22 mA模擬輸出，帶有故障和事件報(bào)告
Modbus / TCP以太網(wǎng)可輕松連接所有控制和報(bào)警系統(tǒng)端口，以實(shí)現(xiàn)控制連接和服務(wù)交互
強(qiáng)大的抽氣泵系統(tǒng)（2年使用壽命）可采樣到100英尺
CE標(biāo)記，具有完全抗射頻干擾能力
Reflex?傳感器運(yùn)行狀況檢查，以提高安全性
TempraSureTM溫度補(bǔ)償技術(shù)適當(dāng)
事件記錄以查看傳感器歷史記錄
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用于通用氣體檢測(cè)的Midas萃取變送器
MIDAS-T-004
用于NF3氣體檢測(cè)的?Midas萃取變送器（第二代）熱解儀模塊
MIDAS-T-00P Midas熱解儀模塊
Midas高溫?zé)峤鈨x模塊
MIDAS-T-0P3 Midas高溫度熱解儀模塊
用于Midas變送器連接的LonWorks模塊
MIDAS-T-LON Midas.LonWorks接口模塊
用于外部變送器連接的Quad LonWorks模塊
MIDAS-A-035 Midas.Quad LonWorks模塊
Midas傳感器盒
MIDAS-S-NH3氨（NH3）
MIDAS-S-ASH砷化氫（AsH3），鍺烷（GeH4）
MIDAS-S-HCL三氯化硼（BCl3），二氯硅烷（H2Cl2Si），溴化氫（HBr）氯化氫（HCl）
MIDAS-S-HFL三氟化硼（BF3），氟化氫HF（低含量），六氟化鎢（WF6）（低）***
MIDAS-S-HFX三氟化硼（BF3），氟化氫（HF），三氟化氮（ NF3）*六氟化鎢（WF6）
MIDAS-S-BR2溴（Br2），二氧化氯（ClO2）
MIDAS-S-COX一氧化碳（CO）
MIDAS-S-HAL氯（Cl2），氟（F2）
MIDAS-S -B2H乙硼烷（B2H6）
MIDAS-S-H2X氫（H2）
MIDAS-S-HCN氰化氫（HCN）
MIDAS-S-H2S硫化氫（H2S）
MIDAS-S-LEL氫（H2），甲烷（CH4）
MIDAS -S-NOX一氧化氮（NO）
MIDAS-S-NO2二氧化氮（NO2）
MIDAS-S-O2X氧（O2）
MIDAS-S-O3X臭氧（O3）
MIDAS-S-O3H臭氧（O3）（高水平）
MIDAS-S-PH3磷化氫（PH3）
MIDAS-S-SHL硅烷（SiH4）（低水平）
MIDAS-S-SHX硅烷（SiH4），乙硅烷（Si2H6）
MIDAS -S-SO2二氧化硫（SO2）
MIDAS-S-TEO TEOS
MIDAS-S-XCF二氟甲烷（CH2F2），六氟丁二烯（C4F6）**，八氟環(huán)戊烯（C5F8）**，0-40 ppm，0-240 ppm，0 -40 ppm
MIDAS-S-XHF三氟化氮（NF3）*，氟化甲基（CH3F）**，0-40ppm，0-120ppm
MIDAS-E-NH3氨（NH3）9-100 ppm
MIDAS-E-ASH砷化氫（ AsH3），Germane（GeH4）18-200 ppb 70-800 ppb
MIDAS-E-HCL三氯化硼（BCl3），二氯硅烷（H2Cl2Si），溴化氫（HBr），氯化氫（HCl）0.72-8 ppm
MIDAS-E-HFU氟化氫（HF），六氟化鎢（WF6）0.42-2 ppm 0.22-2 ppm
MIDAS-E-HFL氟化三硼（BF3），氟化氫HF（低含量），六氟化鎢（WF6）（低）*** 0.18-2 ppm
MIDAS-E-HFX三氟化硼（BF3），氟化氫（HF），三氟化氮（NF3）*六氟化鎢（WF6）0.72-8 ppm 1.05-12 ppm 3.6-40 ppm 1.05- 12 ppm
MIDAS-E-BR2溴（Br2），二氧化氯（ClO2）0.036-0.4 ppm
MIDAS-E-CFX二氟甲烷（CH2F2），六氟丁二烯（C4F6）**，氟化甲基（CH3F）**，八氟環(huán)戊烯（C5F8） **，16-240 ppm 3-40 ppm 8-120 ppm 3-40 ppm
MIDAS-E-CFH六氟丁二烯（C4F6）** 7.2-80 ppm
MIDAS-E-COX一氧化碳（CO）9-100 ppm
MIDAS-E-HAL氯（Cl2）氟（F2）“ 0.18-2 ppm 0.36-4 ppm
MIDAS-E-B2H乙硼烷（B2H6）0.036-0.4 ppm
MIDAS-E-H2X氫（H2）90-1000 ppm
MIDAS- E-HCN氰化氫（HCN）1.8-20 ppm
MIDAS-E-H2S硫化氫（H2S）3.6-40 ppm
MIDAS-E-LEL氫（H2），甲烷（CH4）6.5-100％LEL
MIDAS-E-NOX一氧化氮（NO）9-100 ppm
MIDAS-E-NO2二氧化氮（NO2）1.05-12 ppm
MIDAS-E-O2X氧氣（O2）0.2-25％v / v
MIDAS-E-O3X臭氧（O3）0.036- 0.4 ppm
MIDAS-E-O3H臭氧（O3高含量）0.036-0.7 ppm
MIDAS-E-PH3磷化氫（PH3）110-1200 ppb
MIDAS-E-SHL硅烷（SiH4）（低含量）0.18-2 ppm
MIDAS- E-SHX硅烷（SiH4），乙硅烷（Si2H6）1.8-20 ppm
MIDAS-E-SO2二氧化硫（SO2）0.7-8 ppm
MIDAS-E-TEO TEOS 3.6-40 ppm
MIDAS-E-XCF二氟甲烷（CH2F2），六氟丁二烯（C4F6）**，八氟環(huán)戊烯（C5F8）** 0-40 ppm 0-240 ppm 0-40 ppm
MIDAS-I-CO2二氧化碳IR墨盒0.15-5.0％，0.15％-0,2％v / v
MIDAS-I-N2O氧化亞氮IR墨盒100-1000 ppm
MIDAS-E- XHF三氟化氮（NF3）*，氟化甲基（CH3F）** 0-40ppm 0-120ppm
Midas變送器和傳感器藥盒套件
MIDAS-K-NH3氨（NH3）9-100 ppm
MIDAS-K-ASH砷化氫（AsH3） ，鍺烷（GeH4）18-200 ppb 70-800 ppb
MIDAS-K-HCL三氯化硼（BCl3），二氯硅烷（H2Cl2Si），溴化氫（HBr），氯化氫（HCl）0.72-8 ppm
MIDAS-K-HFU氟化氫（HF），六氟化鎢（WF6）0.42-2 ppm 0.22-2 ppm
MIDAS-K-HFX三氟化硼（BF3），氟化氫（HF），三氟化氮（NF3）*，六氟化鎢（WF6）0.72-8 ppm 1.05-12 ppm 3.6-40 ppm 1.05-12 ppm
MIDAS-K-HFL三氟化硼（BF3），氟化氫HF（低含量），六氟化鎢（WF6）（低）*** 0.18 -2 ppm
MIDAS-K-BR2溴（Br2），二氧化氯（ClO2）0.036-0.4 ppm
MIDAS-K-CFX二氟甲烷（CH2F2），六氟丁二烯（C4F6）**，氟化甲基（CH3F）**，八氟環(huán)戊烯（C5F8 ）**，16-240 ppm 3-40 ppm 8-120 ppm 3-40 ppm
MIDAS-K-COX一氧化碳（CO）9-100 ppm
MIDAS-K-HAL氯（Cl2），氟（F2）0.18- 2 ppm 0.36-4 ppm
MIDAS-K-B2H乙硼烷（B2H6）0.036-0.4 ppm
該產(chǎn)品沒(méi)有收到任何評(píng)價(jià)！
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